Streulichtpartikelzähler KS-41B
Der Streulichtpartikelzähler KS-41B wurde speziell für die Zählung und Größenklassifikation von Partikeln ab 70 nm in Photolacken, SOG, ARC und anderen polymeren Lösungen entwickelt. Darüber hinaus handelt es sich um einen High-End Flüssigkeitspartikelzähler für die Immersionslithographie, bei der höchste Reinheit und Messgenauigkeit gefordert sind. Dank ausgereifter Kalibrierkonzepte überzeugt der KS-41B mit hoher Performanz und stabiler Messqualität – auch unter anspruchsvollen Prozessbedingungen. Der kleinste Kanal beginnt standardmäßig bei 100 nm, optional bereits ab 0,07 µm, und erlaubt eine präzise Erfassung feinster Partikel. Mit bis zu 10 selektierbaren Partikelkanälen im Bereich von 0,1 bis 0,5 µm (optional ab 0,07 µm) bietet das System eine hohe Flexibilität für verschiedenste Analyseanforderungen. Der KS-41B ist sowohl für den kontinuierlichen Online-Betrieb als auch für den Batch-Betrieb geeignet und lässt sich nahtlos in bestehende Prozess- oder Qualitätssicherungssysteme integrieren. Damit ist der KS-41B die optimale Lösung für high-sensitive Anwendungen in der Halbleiterfertigung, bei denen kleinste Partikelgrößen entscheidend sind.
Merkmale und Vorteile
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Spezifikationen
Optisches System Streulichtmethode Lichtquelle Diodengepumpter Festkörperlaser (Wellenlänge: 532 nm, Nennleistung: 500 mW) Materialien der Teile, die mit der Probenflüssigkeit in Kontakt stehen Synthetischer Quarz, PFA Messgrößenbereich 5 Kanäle (werkseitige Voreinstellung): ≥0,1 µm, ≥0,15 µm, ≥0,2 µm, ≥0,3 µm, ≥0,5 µm Einstellbereich 0,1 µm bis 0,5 µm Durchflussrate 5 mL/min Maximale Partikelanzahlkonzentration 9.600 Partikel/mL (Koinzidenzverlust 10 %) Stromversorgung DC 12 V (über KE-40B1 bereitgestellt) Abmessungen Ca. 164 (H) x 464 (B) x 305 (T) mm (ohne hervorstehende Teile) Gewicht Ca. 12,5 kg