Streulichtpartikelzähler KS-41A
Der Streulichtpartikelzähler KS-41A ist ein hochpräzises Messgerät, das die Zählung und Größenklassifikation von 150 nm bis 0,5 µm Partikeln in polymeren Lösungen wie Photolacken, SOG, ARC und anderen Verbindungen ermöglicht. Dieses High-End-Gerät wurde speziell für die Immersionslithographie sowie für High-Noise-Anwendungen entwickelt, bei denen eine hohe Messgenauigkeit erforderlich ist. Mit seinen fortschrittlichen Kalibrierkonzepten bietet der KS-41A herausragende Leistungsfähigkeit und Zuverlässigkeit, selbst in anspruchsvollsten Umgebungen. Der Zähler verfügt über selecierbare Größenkanäle und einen integrierten Pulshöhenanalysator (PHA), der eine präzise Messung der Partikelgröße ermöglicht und die Zuverlässigkeit der Ergebnisse in lauten, störungsanfälligen Umgebungen erhöht. Der KS-41A ist für den kontinuierlichen Online-Betrieb sowie den Batch-Betrieb geeignet und kann bis zu 10 Partikelkanäle im Bereich von 0,15 µm bis 0,5 µm messen. Dies macht ihn zu einer flexiblen Lösung für die Produktion und Qualitätskontrolle in der Mikroelektronik und anderen High-Tech-Branchen. Zusammenfassend lässt sich sagen, dass der KS-41A die ideale Wahl für Anwendungen ist, die eine präzise und zuverlässige Partikelmessung in komplexen und hochsensiblen Umgebungen erfordern.
Merkmale und Vorteile
| Optisches System | Lichtstreumethode |
| Lichtquelle | Laserdiode (Wellenlänge: 830 nm, Nennausgangsleistung: 200 mW) |
| Materialien der Teile, die mit der Probenflüssigkeit in Kontakt stehen | Synthetischer Quarz, PFA |
| Messgrößenbereich | 4 Kanäle (Werksvoreinstellung): ≥0,15 µm, ≥0,2 µm, ≥0,3 µm, ≥0,5 µm |
| Einstellbereich | 0,15 µm bis 0,5 µm |
| Durchflussrate | 10 mL/min |
| Maximale Partikelanzahlkonzentration | 1.200 Partikel/mL (bei 5 % Koinzidenzverlust) |
| Stromversorgung | DC 12 V (bereitgestellt durch KE-40B1) |
| Abmessungen | Ca. 160 (H) × 300 (B) × 251 (T) mm |
| Gewicht | Ca. 7,5 kg |