KS-20F – Partikelmessung in UPW und Reinstchemie
Der Streulichtpartikelzähler KS-20F ermöglicht die Zählung und Größenklassifikation von Partikeln in Flüssigkeiten im Größenbereich 20 nm bis 80 nm. Als High End Flüssigkeitspartikelzähler ist er der einzige, der gleichermaßen für das Monitoring von Partikeln in Reinstchemie und Reinstwasser geeignet ist. Die Robustheit und Vielseitigkeit dieses Geräts machen es ideal für die Überwachung von Partikeln in aggressivsten Chemikalien (z.B. Flusssäure, Schwefelsäure, Ammoniakwasser, Wasserstoffperoxid), was ihn zu einer unverzichtbaren Lösung für die Partikelüberwachung in anspruchsvollen Umgebungen der chemischen Industrie macht. Auch EUV-Photolacke können mit diesem Gerät gemessen werden. Der KS-20F ist mit einem Lecksensor ausgestattet. Wird ein Leck im Gerät erkannt, kann ein Alarm ausgelöst werden. Dies ist bei der Chemikalienmessung für den Arbeitsschutz relevant. Durch seine vergleichsweise hohe Zähleffizienz von 3% und niedrige Nullzählrate bietet der KS-20F darüber hinaus wichtige Voraussetzungen für die Überwachung von Partikeln in UPW-Anlagen. Ausgereifte Kalibrierkonzepte komplettieren die extrem hohe Performanz des Systems. Eine Ethernet-Schnittstelle ermöglicht eine einfache Integration in bestehende Systeme. Alternativ gibt es eine 4-20mA-Schnittstelle und ein Alarmrelais. Der KS-20F ist sowohl für den kontinuierlichen Online-Betrieb als auch für den Batch-Betrieb geeignet und stellt damit eine flexible Lösung für die Partikelüberwachung in verschiedenen Anwendungsbereichen dar.
Merkmale und Vorteile
| Optisches System | Lichtstreumethode |
| Lichtquelle | Diodengepumpter Festkörperlaser (Wellenlänge: 532 nm, Nennausgangsleistung: 1,5 W) |
| Materialien der mit der Probenflüssigkeit in Kontakt kommenden Teile | Saphir, PFA |
| Messgrößenbereich | 4 Kanäle (Werkseinstellung): ≥0,02 µm, ≥0,03 µm, ≥0,04 µm, ≥0,06 µm Einstellbereich: 0,02 µm bis 0,08 µm |
| Durchflussrate | 10 mL/min |
| Maximale Partikelkonzentration | 50.000 Partikel/mL (Koinzidenzverlust 10 %) |
| Stromversorgung | 100 bis 240 V AC, 50/60 Hz, ca. 250 VA |
| Abmessungen | Ca. 235 (H) x 552 (B) x 340 (T) mm |
| Gewicht | Ca. 18 kg |