Simco-Ion Aerobar 5645 mit Feedback Control zur statischen Entladung

Simco-ION AeroBar 5645 mit Feedback Control

Der AeroBar 5645 MP von Simco-Ion wurde speziell für den Einsatz in der Halbleiterindustrie entwickelt und bietet eine leistungsstarke, hochpräzise Ionisationslösung für empfindliche Fertigungsprozesse im Front- und Backend. Basierend auf der neuesten Generation der Modulated Pulse (MP) Technologie kombiniert dieses Modell eine stabile und feinabgestimmte Ionenausgabe mit außergewöhnlicher Reinheit und eignet sich daher optimal für Anwendungen mit höchsten Anforderungen an Entladezeiten, Spannungsstabilität und Ionisationsbalance.

Dank seiner extrem sauberen Einkristall-Silizium-Emitterspitzen übertrifft der 5645 MP AeroBar die Anforderungen der ISO 14644-1 Klasse 1 und erfüllt darüber hinaus die erweiterten Kriterien für Partikelgrößen bis zu 10 nm. Die kompakte Bauweise ermöglicht eine Installation in nur 150 mm Entfernung zur Wafer-Oberfläche, ohne Kompromisse bei der Leistung. In Kombination mit dem Novx System oder der Novx Inside Variante erreicht der AeroBar eine Balancegenauigkeit von besser als ±5 V, unterstützt durch eine aktive Rückkopplungssteuerung. Alle relevanten Schnittstellen für Sensorik, Alarm, Kommunikation, Stromversorgung und FMS-Anbindung sind dabei zentral am selben Ende der Ionisationsleiste integriert, was eine einfache Installation und Wartung ermöglicht.

Die MP-Technologie lässt sich über eine umfangreiche Steuerungssoftware anpassen, sodass Spannung, Frequenz und Balance genau auf die jeweiligen Umgebungsbedingungen und Produktempfindlichkeiten abgestimmt werden können. Der AeroBar 5645 MP ist in 14 Längen zwischen 350 und 2350 mm erhältlich und bietet so maximale Flexibilität für unterschiedlichste Reinraumanwendungen. Durch die Kombination aus hochentwickelter Ionentechnologie, aktiver Überwachung und branchenführender Sauberkeit stellt dieser Ionisationsstab eine zukunftssichere Lösung für moderne Fertigungslinien dar.

Merkmale und Vorteile

  • Spezifikationen
    Eingangsspannung

    120 VAC, 60 Hz: 0,3 A (2-Fan); 0,4 A (3-Fan); 0,5 A (4-Fan)


    230 VAC, 50 Hz: 0,2 A (2-Fan); 0,2 A (3-Fan); 0,3 A (4-Fan)

    Entladung1,0 Sekunde bei 12" (30,5 cm); 1000-100V, Lüfter auf höchster Stufe
    Balance0 ±10V
    Abmessungen2-Fan: 23,25" L x 4,0" H x 6,25" T (59,1 x 10,2 x 15,9 cm)
    3-Fan: 35,5" L x 4,0" H x 6,25" T (90,2 x 10,2 x 15,9 cm)
    4-Fan: 47,75" L x 4,0" H x 6,25" T (121,3 x 10,2 x 15,9 cm)
    Gewicht

    2-Fan: 10 lb (4,54 kg) 

    3-Fan: 13 lb (5,90 kg)

    4-Fan: 16 lb (7,26 kg)