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Simco-ION AeroBar 5225S

Der stand-alone digitale AeroBar 5225S Entladestab bietet eine hohe Leistung und lässt sich problemlos in bestehende Betriebsprozesse integrieren. Alle Parameter werden direkt im AeroBar gespeichert, wodurch kein externer Controller erforderlich ist. Mit der Möglichkeit, eine Vielzahl von Parametern individuell für jeden AeroBar einzustellen, stellt das Gerät sicher, dass die Ionisation präzise auf die spezifischen Anforderungen des jeweiligen Prozesses abgestimmt ist. Der AeroBar 5225S arbeitet sowohl mit gepulstem DC als auch mit Steady-State DC, was eine gleichmäßige und stabile Ionenausgabe gewährleistet. Das Gerät ist in verschiedenen Längen erhältlich, darunter drei spezielle Längen für die Anwendung in EFEMs (Equipment Front-End Modules). Dies macht es zu einer flexiblen Lösung für unterschiedlichste Anwendungen, bei denen eine präzise Ionisation erforderlich ist. Zusätzlich bietet der AeroBar eine kontinuierliche Ionenstromüberwachung sowie Alarmausgänge, die eine sofortige Reaktion bei Abweichungen vom Sollwert ermöglichen. Die einkristallinen Silizium-Emitterspitzen sorgen für eine extrem saubere Leistung, ohne das Risiko einer Wafer-Kontamination durch Dotierungen oder Metallionen. Dank seiner Fähigkeit, jederzeit eine gleichmäßige und optimale Leistung zu liefern, und der Feinabstimmung der Ionisation gemäß den individuellen statischen Anforderungen, bietet der AeroBar 5225S eine stabile und kontrollierte Ionenausgabe, die für eine Vielzahl von Anwendungen in verschiedenen Umgebungen geeignet ist.

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