Simco-ION AeroBar 5225
Der Simco-ion Softwaregesteuerte Entladestab ist für anspruchsvolle Ionisierungsanwendungen konzipiert und bietet eine ausgezeichnete Lösung für präzise und stabile Ionisierungsprozesse. Er arbeitet mit Pulsed DC und Steady-State DC und lässt sich vollständig in kundenspezifische Anlagensteuerungssysteme integrieren. Der AeroBar kann mit einer Vielzahl an individuell einstellbaren Parametern konfiguriert werden, die für die unterschiedlichen Anforderungen jeder Anwendung optimiert werden können. Eine Ionenstromüberwachung sorgt für die kontinuierliche Kontrolle und Qualitätssicherung des Ionisationsprozesses.
Der Entladestab ist in verschiedenen Längen erhältlich, darunter auch drei speziell für EFEMs (Equipment Front-End Modules) ausgelegte Varianten, die eine flexible Anpassung an unterschiedliche Systeme ermöglichen. Durch den FMS-Alarmausgang wird eine sofortige Benachrichtigung bei ungewöhnlichen Zuständen gewährleistet. Die einkristallinen Silizium-Emitterspitzen garantieren eine präzise Ionenausgabe und minimieren das Risiko von Wafer-Kontaminationen durch Dotierungen oder Metallionen.
Die Einstellung, der Betrieb und die Wartung des Systems erfolgen softwaregesteuert, was eine exakte Feinabstimmung der Ionisierung auf die individuellen Prozesse in jedem Bereich der Anlage ermöglicht. Dies sorgt für eine kontrollierte, stabile Leistung und eine gleichbleibend hohe Qualität der Ionisierung in komplexen Produktionsumgebungen.
Merkmale und Vorteile
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Spezifikationen
Spannung Eingang: 24 VAC, 50/60 Hz, 1 W (typ.); betrieben über das Interface-Modul Modell 5200-IM6T
Ausgang: 0-20 kVDC, ±10 % für jede Polarität auf einem einzelnen AeroBar; positive oder negative
Ausgangspegel können über die GUI separat eingestellt werden
Ionenerzeugung Pulsed DC, Steady-state DC oder Standby Emitter Einzelkristall-Silizium, austauschbar Reinraumklasse ISO 14644-1 Klasse 1 (Einzelkristall-Silizium Emitter)
ISO 14644-1 Klasse 3 (Titanium Emitter)Abmessungen 5,3 x 3,1 x 56,9 / 72,1 / 90,7 / 112,8 / 141,2 / 163,6 / 191,8 / 214,4 cm (2,1”H x 1,2”B x 22,4 / 28,4 / 35,7 / 44,4 / 55,6 / 64,4 / 75,5 / 84,4”L) Gewicht 0,51 kg für eine 55,9 cm lange Stange (ca. 0,17 kg pro zusätzliches 30,5 cm)