Partikelzähler / Monitoring

Nanopartikelzähler für ISO Reinräume - AeroTrak 9001 CPC

Der Luftpartikelzähler AeroTrak 9001 CPC ist ein auf Wasser basierender Kondensationskernzähler für das Nanopartikel-Monitoring kritischer Prozessumgebungen (Luft und Gase in Halbleiter- und OLED-Fertigung usw.). Die patentierten Technologien ermöglichen Nanopartikel-Detektion und -Zählung ab 10 nm bei einem Durchsatz von 2,83 L/Min. (0,1 CFM). Der Kondensationskernzähler AeroTrak 9001 CPC eignet sich besonders für den Einsatz in ultrasauberen Reinraum-Umgebungen der ISO Klasse 1 und 2. Der gesamte Transport der Nanopartikel durch das Mess-System bis hin zur Messzelle geschieht vollkommen in laminarer Strömung. Die Versorgung mit Reinstwasser kann per Direktanschluss im Reinraum erfolgen; auf die Einbringung kritischer und meist unerwünschter Chemikalien (z.B. n-Butalol) zur Versorgung kann gänzlich verzichtet werden.

  • komptaktes Design
  • portabel oder stationär einsetzbar
  • extrem einfache und nutzerfreundliche Bedienung per Touch-Screen
  • verschiedene Schnittstellen und Protokolle (USB- Flash/Standard; Ethernet, ModBus)
  • Kompatibilität mit FMS-Monitoring Software
TUEV Zertifikat ISO 9001

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