Der Streulichtpartikelzähler KS-41B ermöglicht die Zählung und Größenklassifikation von 70 nm - Partikeln in Photolacken, SOG, ARC und anderen polymeren Lösungen. Darüber hinaus handelt es sich um einen High End Flüssigkeitspartikelzähler für die Immersions Lithographie.
Ausgereifte Kalibrierkonzepte komplettieren die hohe Performanz des Systems.
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