Partikelzähler / Monitoring

Streulichtpartikelzähler KS-41B

Der Streulichtpartikelzähler KS-41B ermöglicht die Zählung und Größenklassifikation von 70 nm - Partikeln in Photolacken, SOG, ARC und anderen polymeren Lösungen. Darüber hinaus handelt es sich um einen High End Flüssigkeitspartikelzähler für die Immersions Lithographie.

Ausgereifte Kalibrierkonzepte komplettieren die hohe Performanz des Systems.

  • Kleinster Kanal 100 nm, (Optional ab 0,07 µm)
  • Geeignet für Photoresist, SOC/SOG, ARC und anderen polymeren Verbindungen,
  • Max 10 Partikelkanäle im Bereich zwischen 0,1 und 0,5 µm (Optional ab 0,07 µm)
  • Geeignet für kontinuierlichen Online-Betrieb
  • Geeignet für Batch-Betrieb
TUEV Zertifikat ISO 9001

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