Streulichtpartikelzähler KS-41A

Der Streulichtpartikelzähler KS-41A ermöglicht die Zählung und Größenklassifikation von 150 nm - Partikeln in Photolacken, SOG, ARC und anderen polymeren Lösungen. Darüber hinaus handelt es sich um einen High- End Flüssigkeitspartikelzähler für die Immersions Lithographie und für andere high-noise Applikationen.

Ausgereifte Kalibrierkonzepte komplettieren die hohe Performanz des Systems.

• Kleinster Kanal 150 nm
• Geeignet für Photoresists, SOC/SOG, ARC und anderen polymeren Verbindungen
• Integrierter PHA (Pulshöhenanalysator) und selektierbare Größenkanäle
• Geeignet für high-noise Applikationen
• Max 10 Partikelkanäle im Bereich zwischen 0,1 und 0,5 µm
• Geeignet für kontinuierlichen Online-Betrieb
• Geeignet für Batch-Betrieb