Partikelzähler / Monitoring

Streulichtpartikelzähler KS-41A

Der Streulichtpartikelzähler KS-41A ermöglicht die Zählung und Größenklassifikation von 150 nm - Partikeln in Photolacken, SOG, ARC und anderen polymeren Lösungen. Darüber hinaus handelt es sich um einen High- End Flüssigkeitspartikelzähler für die Immersions Lithographie und für andere high-noise Applikationen.

Ausgereifte Kalibrierkonzepte komplettieren die hohe Performanz des Systems.

  • Kleinster Kanal 150 nm
  • Geeignet für Photoresists, SOC/SOG, ARC und anderen polymeren Verbindungen
  • Integrierter PHA (Pulshöhenanalysator) und selektierbare Größenkanäle
  • Geeignet für high-noise Applikationen
  • Max 10 Partikelkanäle im Bereich zwischen 0,1 und 0,5 µm
  • Geeignet für kontinuierlichen Online-Betrieb
  • Geeignet für Batch-Betrieb
TUEV Zertifikat ISO 9001

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