Partikelzähler / Monitoring

Partikelzähler für Flüssigkeiten

Flüssigkeits-Partikelzähler werden zur Zählung und Kontrolle von Partikeln in Chemikalien eingesetzt. In der Halbleiterindustrie werden Prozessmedien wie Reinstwasser, Säuren, organische Lösemittel und andere Chemikalien für Reinigungsprozesse genutzt. Auch sehr spezielle Chemikalien wie dotiertes Siliciumdioxid beim SOG (spin on glass) oder Fotolacke (Photoresist) und auch CMP slurry können auf den Partikelgehalt kontrolliert werden.

Partikelzähler der Serie KS von RION werden sowohl für kontinuierliche Überwachung als auch für die Überprüfung von einzelnen Batch-Probenahmen genutzt. Für die verschiedenen Anforderungen an das jeweilige Prozessmedium auf maximale Partikelanzahl und –größe stehen verschiedene Modelle zur Verfügung, die den gesamten mit Streulichpartikelzählern technisch möglichen Bereich abdecken.

Auch in anderen Industrien wie Automotive, pharmazeutischer und biotechnologischer Herstellung, Elektrotechnik und Mechatronik ist die Überwachung von zur Reinigung genutzten Medien wie Wasser, Lösemittel und anderen Chemikalien essentiell.

Rion Liquid Particle Counter stehen in jedem Messbereich für hohe Zähleffizienzen, Langlebigkeit der Komponenten und überlegene Konzepte der Photodetektoren und Messzellen-Architektur. Alle Flüssigkeitspartikelzähler können für kontinuierliche Probenahme, In-line und für Batch Messungen genutzt werden. Von UPW (ultra pure water) bis hin zu aggressivsten Säuren (HF) können alle denkbaren Medien beprobt werden.

TUEV Zertifikat ISO 9001

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