Ionisation / ESD-Management

AeroBar 5635 MP

Erweiterte ISO 1 Klasse, modulierte Impulstechnologie, Luftunterstützung

Der Ionisationsstab AeroBar 5635 MP von Simco-Ion ist ideal zur Beseitigung elektrostatischer Aufladung in der Halbleiterproduktion und bei anderen kritischen Reinraum Prozessen, bei denen schnelle Entladezeiten, niedrige Spannungsschwankungen und exakte Balance gefordert sind.

Durch Nutzung der MP-Technologie beim Modell 5635 wird eine hochfrequente Sinuswelle mit modulierten Impulsen für eine sehr hohe Ionenausgabe eingesetzt. Hierdurch ist die Montage des AeroBar 5635 MP in unmittelbarer Nähe zum Wafer möglich. Die Kombination aus MP Technologie, extrem sauberen Silizium-Emitterspitzen und exakter Feinabstimmung erfüllt die Anforderungen der erweiterten ISO 1 Klasse.

Die optionale Luftunterstützung ermöglicht eine deutliche Optimierung der Entladezeiten bei zu schwachem oder nicht vorhandenem Laminarstrom, bzw. ermöglicht eine Ionisierung auch bei schwierigen Bauraumvorgaben. Die Ionisationsstäbe sind mit 50 bzw. 75 mm Emitterabstand erhältlich. Die kurzen Abstände zwischen den Emittern ermöglichen, bei entsprechender Einstellung des Ionisationsstabes, kurze Abstände zum Wafer wie auch hohe Ionisationsleistungen über größere Distanzen.

Sauberkeit

Der AeroBar 5635 MP erfüllt die ISO 14644-1 Norm. Langzeitmessungen über 5 Monate haben gezeigt, dass der AeroBar 5635 MP auch die Anforderungen der erweiterten ISO 1 Klasse erfüllt, dies macht ihn zum saubersten im Markt erhältlichen Korona-Ionisierungsstab.

Einfache Installation des AeroBar 5635 MP

Der Ionisationsstab AeroBar 5635 MP Ionisationsstab wird schnell durch einfaches Einstecken in eine 24 V DC-Spannungsquelle installiert. Für Luftunterstützung muss eine Druckluftleitung angeschlossen werden.
Anwender können die Feinabstimmung der Steuerparameter am Stab vornehmen oder die benutzerfreundliche Software verwenden, um die optimale Balance, Spannungsschwankung und Entladezeiten einzustellen.

Ein Alarmausgang in der Anschlussbox ermöglicht den Anschluss an eine Maschinen- oder Anlagensteuerung oder die Auswertung über Monitoring PC. 

Optionaler Demand Flow Controller

Der optionale 5600 DFC ist eine leicht zu integrierende, kostengünstige Lösung zur Steuerung  der Luft- und Stromversorgung für den AeroBar. Er ermöglicht es dem Anwender den Ionisierer schnell ein- und auszuschalten für Anwendungen bei denen die Ionisierung nur sporadisch erforderlich ist.

Merkmale des AeroBar MP 5635 MP

  • Erweiterte ISO 1 Klasse geeignet
  • Modulierte Impulstechnologie
  • Niederfeldspannungen
  • Optionale Luftunterstützung
  • Optionale Software mit benutzerfreundlicher Oberfläche und vielen Einstellmöglichkeiten
  • Alarm-Ausgangssignal

Vorteile des AeroBar 5635 MP

  • Kompatibel mit allen Wafer-Technologie-Knoten inklusive 22 nm und darunter
  • Einheitliche Balance über den AeroBar
  • Sichere Platzierung im Abstand 150 mm von Wafer oder Maske
  • Verbesserte statische Ladungsneutralisation bei hohen Geschwindigkeiten
  • Schneller Emitter Austausch für kurze Stillstandzeiten
  • Schnelle Inbetriebnahme und einfache Optimierung in jeder Umgebung
  • Kommunikation mit Anlage oder Überwachungssystem

Optionen

  • Flow Controller 91-5600-DFC
  • Verteilerbox 33-21491
  • Verteilerbox 24 V 33-25625
TUEV Zertifikat ISO 9001

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