Ionisation von Prozesstools

Stickstoff In-Line Ionizer 4214

Simco-Ions Ultra-clean In-line Ionizer Model 4214 für Stickstoff ist gestaltet um Stickstoff für ultra saubere Halbleiterherstellung und andere hochreine Prozesse und Anwendungen bereitzustellen. Das Model 4214 ionisiert hierbei Stickstoffmoleküle ohne die Notwendigkeit einer starken Spannungsversorgung; Modelle anderer Hersteller können nur Partikel-Kontaminationen im Stickstoff  ionisieren. Der Ionisator ermöglicht mit schnellen Entladezeiten von kleiner <10 Sekunden die optimale Neutralisierung von statischen Aufladungen

  • Erweiterte ISO Klasse 1
  • In-Line Ionisation
  • Alarm bei niedriger Ionenabgabe, Spannungsausfall und bei zu niedrigem Gasdurchsatz
  • Standby Modus
  • Automatische Balanceregelung
  • Automatische Abschaltung bei zu niedrigem Gasdurchsatz
  • 24 VDC Eingang