NOVX 3352 & 3362 - Datenlogging- und Steuerungssystem
NOVX bietet die Möglichkeit, gleichzeitig an bis zu 3 Orten elektrostatische Ladung zu messen, den Wert aufzuzeichnen und in einer csv-Datei zu speichern. Es können bis zu 3 ESD-Antennen angeschlossen werden, um ESD-Ereignisse zu detektieren und ein Alarmsignal für eine FMS zu generieren. Das NOVXSystem wird außerdem als Closed-Loop-System für einige Ionisatoren benötigt. Die Modelle 5832, 5842 und 5645 besitzen eine Kommunikationsschnittstelle. Der Regelkreis Antenne-NOVX-Ionisator passt blitzschnell die Anzahl positiver und negativer Ionen im Ionisator an. Elektrostatische Aufladungen werden sofort abgebaut. Mit den genannten Funktionen und Kombinationsmöglichkeiten ist NOVX das ideale Prozessüberwachsungssystem für Anlagen der Halbleiterproduktion, in denen ESDS bearbeitet und transportiert werden. Das aktive Modell 3362 kann zudem die angeschlossenen Antennen auf Befehl hin aufladen und deren Entladezeit messen. Die Werte sind eins zu eins vergleichbar mit den Ergebnissen des CPM konform DIN EN 61340-4.