AeroBar 5635 MP
Erweiterte ISO 1 Klasse, modulierte Impulstechnologie, Luftunterstützung
Der Ionisationsstab AeroBar 5635 MP von Simco-Ion ist ideal zur Beseitigung elektrostatischer Aufladung in der Halbleiterproduktion und bei anderen kritischen Reinraum Prozessen, bei denen schnelle Entladezeiten, niedrige Spannungsschwankungen und exakte Balance gefordert sind. Durch Nutzung der MP-Technologie beim Modell 5635 wird eine hochfrequente Sinuswelle mit modulierten Impulsen für eine sehr hohe Ionenausgabe eingesetzt. Hierdurch ist die Montage des AeroBar 5635 MP in unmittelbarer Nähe zum Wafer möglich. Die Kombination aus MP Technologie, extrem sauberen Silizium-Emitterspitzen und exakter Feinabstimmung erfüllt die Anforderungen der erweiterten ISO 1 Klasse. Die optionale Luftunterstützung ermöglicht eine deutliche Optimierung der Entladezeiten bei zu schwachem oder nicht vorhandenem Laminarstrom, bzw. ermöglicht eine Ionisierung auch bei schwierigen Bauraumvorgaben. Die Ionisationsstäbe sind mit 50 bzw. 75 mm Emitterabstand erhältlich. Die kurzen Abstände zwischen den Emittern ermöglichen, bei entsprechender Einstellung des Ionisationsstabes, kurze Abstände zum Wafer wie auch hohe Ionisationsleistungen über größere Distanzen.