Ionisation von Prozesstools

AeroBar 5225S

Stand-alone digitaler AeroBar 5225S Entladestab für hohe Leistung und einfache Integration in den Betriebsprozess

  • Sämtliche Parameter werden im AeroBar gespeichert; Controller nicht notwendig
  • Weitreichend individuell einstellbare Parameter für jeden AeroBar
  •  mit gepulsten DC und Steady-State DC
  • Verschiedene AeroBar Längen darunter drei Längen speziell für EFEMs ausgelegt
  • Ionenstromüberwachung
  • FMS-Alarmausgang
  • Einkristalline-Silizium-Emitterspitzen
  • Jederzeit gleichmäßige und optimale Leistung
  • Feinabstimmung der Ionisierung nach individuellen statischen Anforderungen
  • Flexible Längen für verschiedene Anwendungen
  • Kontrollierte Ionenausgabe und stabile Leistung
  • Alarmausgänge
  • Extrem sauberes Emittermaterial, ohne das Risiko einer Wafer-Kontamination durch Dotierungen oder Metallionen