AeroBar 5225S
Stand-alone digitaler AeroBar 5225S Entladestab für hohe Leistung und einfache Integration in den Betriebsprozess
- Sämtliche Parameter werden im AeroBar gespeichert; Controller nicht notwendig
- Weitreichend individuell einstellbare Parameter für jeden AeroBar
- mit gepulsten DC und Steady-State DC
- Verschiedene AeroBar Längen darunter drei Längen speziell für EFEMs ausgelegt
- Ionenstromüberwachung
- FMS-Alarmausgang
- Einkristalline-Silizium-Emitterspitzen
- Jederzeit gleichmäßige und optimale Leistung
- Feinabstimmung der Ionisierung nach individuellen statischen Anforderungen
- Flexible Längen für verschiedene Anwendungen
- Kontrollierte Ionenausgabe und stabile Leistung
- Alarmausgänge
- Extrem sauberes Emittermaterial, ohne das Risiko einer Wafer-Kontamination durch Dotierungen oder Metallionen
