AeroBar 5225
Softwaregesteuerter Entladestab für anspruchsvolle Ionisierungs-Anwendungen, Pulsed DC, Steady-State DC
- Vollständige Integration in kundeneigenen Anlagensteuerungssysteme
- Weitreichend individuell einstellbare Parameter für jeden AeroBar
- Ionenstromüberwachung
- Verschiedene Längen darunter drei Längen speziell für EFEMs ausgelegt
- FMS-Alarmausgang
- Einkristalline-Silizium-Emitterspitzen
- Einstellung, Betrieb und Wartung softwaregesteuert
- Feinabstimmung der Ionisierung für individuelle Prozesse in jedem Bereich der Anlagen
- Kontrollierte gesteuerte Ionenausgabe und stabile Leistung
- Extrem sauberes Emittermaterial, ohne das Risiko einer Wafer-Kontamination durch Dotierungen oder Metallionen
