IONISATION Modelle für den Anlagenbau High Performance Blower 5832 und 5842 Das Tischgebläse 5832 sowie der Overhead-blower 5842 sind die Speerspitze der Ionisation. In Kombination mit dem aktiven Regelsystem NOVX sind Entladezeiten (1000V – 100V) von unter 2s und eine Offset-Spannung von dauerhaft < ±1V möglich, um auch die empfindlichsten Bauteile und Strukturen vor ESD-Schäden zu schützen. Ermöglicht wird dies durch die 1,75“ x 1“ kleine Antenne, die in Strömungsrichtung nahe dem zu entladenden Bereich installiert wird. Sie misst permanent die Feldstärke und gibt den Wert als Regelgröße direkt an den Blower oder an das NOVX-System weiter. High Performance Ionisationsleiste AeroBar 5645 mit Feedback Control Die AeroBar 5645 ist die Nachfolgegeneration der AeroBar 5635 und wartet mit neuen, verbesserten Eigenschaften auf. Erhältlich in drei verschiedenen Konfigurationen (Stand Alone, NOVX inside und NOVX System), wird sie allen Bedürfnissen und Anforderungen gerecht. Offset-Spannungen von < ±5V sind jetzt dauerhaft möglich und können kontrolliert und dokumentiert werden. Eine 100%ige Prozesskontrolle ist möglich. Als Steuereinheit wird eine kleine Antenne benötigt, welche direkt mit der AeroBar oder dem NOVX-System verbunden wird. NOVX erlaubt zusätzlich zur aktiven Regelung die sekundengenaue Dokumentation der Spannung bzw. der Feldstärke am Installationsort der Antenne und die Detektion von ESD-Events. Wie auch die AeroBar 5635 kann die AeroBar 5645 an CDA und N2 angeschlossen werden, um Entladezeiten zu verkürzen. TOGETHER WE CREATE SOLUTIONS Benelux • France • Germany • Great Britain • Switzerland 18 Datenlogging- und Steuerungssystem NOVX NOVX bietet die Möglichkeit, gleichzeitig an bis zu 3 Orten elektrostatische Ladung zu messen, den Wert aufzuzeichnen und in einer csv-Datei zu speichern. Es können bis zu 3 ESD-Antennen angeschlossen werden, um ESD-Ereignisse zu detektieren und ein Alarmsignal für eine FMS zu generieren. Das NOVXSystem wird außerdem als Closed-Loop-System für einige Ionisatoren benötigt. Die Modelle 5832, 5842 und 5645 besitzen eine Kommunikationsschnittstelle. Der Regelkreis Antenne-NOVX-Ionisator passt blitzschnell die Anzahl positiver und negativer Ionen im Ionisator an. Elektrostatische Aufladungen werden sofort abgebaut. Mit den genannten Funktionen und Kombinationsmöglichkeiten ist NOVX das ideale Prozessüberwachsungssystem für Anlagen der Halbleiterproduktion, in denen ESDS bearbeitet und transportiert werden. Das aktive Modell 3362 kann zudem die angeschlossenen Antennen auf Befehl hin aufladen und deren Entladezeit messen. Die Werte sind eins zu eins vergleichbar mit den Ergebnissen des CPM konform DIN EN 61340-4. Feldmeter SIMCO bietet mit den Modellen 775 bzw. 775PVS und FMX004 handliche Feldmeter zum schnellen Detektieren und Messen elektrostatischer Ladungen an. Das Modell 775 kann um eine kleine Kondensatorplatte erweitert werden und dient somit als kleiner CPM. Beide Modelle besitzen einen analogen Ausgang zur Anbindung an eine SPS. Der korrekte Abstand für eine Messung wird optisch durch Überlagerung zweier Kreise gezeigt. Im korrekten Abstand ergeben sich zwei konzentrische Kreise. Als universell nutzbares Messgerät ist ein Feldmeter ein unverzichtbarer Bestandteil des Werkzeugkoffers eines jeden ESD-Koordinators. Bezeichnung Spezifikationen Stromversorgung 24VDC ±10 %, 0,7A (max) Balance < ±20V (Stand Alone); < ±5V (NOVX) Entladezeit (typ.) 15s @ 60cm Frequenz 0,3 – 60 Hz Emitter Silizium (einkristalin),Titan Druckluft CDA, N2 / max. 3,1bar; 1-3,5lpm/Düse Reinraumklasse ISO 14644 Klasse 1; ISO 14644-12 Abmessungen 78 x 34 x 350 / 450 / 600 / 850 / 1000 / 1150 / 1300 / 1450 / 1600 / 1750 / 1900 / 2050 / 2200 / 2350 mm Bezeichnung Modell 5832 Modell 5842 Stromversorgung 24 VDC 24 VDC Entladezeit < 2s < 2s Balance < ±1V (NOVX) < ±3V (Stand Alone) < ±1V (NOVX) < ±3V (Stand Alone) Reinraumklasse ISO 14644 Klasse 4 ISO 14644 Klasse 4 Emitter Titan Titan Einstellungen Lüftergeschwindigkeit, Balance, Sensortypauswahl, FMS Relais Lüftergeschwindigkeit, Balance, FMS Relais Abmessungen (H x B x L) 18,5 x 13 x 7,0 cm 6,99 x13,8 x 81,3 / 106,7 / 132,1 cm Bezeichnung Modell 3352 Modell 3362 Stromversorgung 24 VDC, 30 W 24 VDC, 30W Aktiv/Passiv Passiv Aktiv (CPM-Funktion) Messbereich 0 bis ±500V 0 bis ±150V Genauigkeit < 20V: 0,5V > 20V: ±5% < 20V: 1V > 20V: ±5% Min. Alarmschwelle ±0,5V ±1V AUX Ausgangstyp Open Collector Open Collector Größe (B x T x H) 5,1 x 17,3 x 16,5 cm 5,1 x 17,3 x 16,5 cm Bezeichnung Modell 775PVS Modell 3362 Messbereich [kV/inch] 0,00 – 19,99 0 – 1,5 (unterer Bereich) 1 – 30 (oberer Bereich) Genauigkeit ±5% ±10% Batterie 9V Block 9V Block Größe 10,7 x 6,1 x 2,3 cm 12,3 x 7,3 x 2,5 cm
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