PMT Broschüre - HALBLEITER - CHEMIE - AUTOMOTIV

IONISATION Modelle für den Anlagenbau Für die Integration in Prozesstools eignen sich, dank ihrer kompakten Abmessungen, Point of Use Ionisationsgeräte. Exemplarisch ist hier das Modelle QuadBar und das Inline-FusION genannt. QuadBar Das Modell QuadBar kann sowohl mit als auch ohne Druckluft betrieben werden. Die Emitterspitzen werden in Richtung der Luftströmung ausgerichtet. Inline Gasionisiergerät Inline-FusION Die Abmessungen des Inline-FusION sind ähnlich der QuadBar. Die ionisierte Luft wird durch einen Schlauch weitergeleitet und verteilt, um so eine möglichst homogene Ionisierung trotz engem Bauraum zu erreichen. Bezeichnung Spezifikationen Betriebs- spannung 24 VAC oder 35 mA Entladezeit < 30 s @ 30 cm Balance < ± 50V Betriebsmodus pos./neg. gleichzeitig Emitter Silizium Strömungsgeschindigkeit Luft 0,4 - 0,5 m/s (empfohlen), druckluftunterstütztes Modell verfügbar Reinraumklasse ISO 1 (24 VDC), ISO 2 (24 VAC) Zubehör Kontrolleinheit 4030 (für max. 4 Geräte) Größe (H x B x T) 3,3 x 3,3 x 11,4 cm Gewicht 100 g TOGETHER WE CREATE SOLUTIONS Benelux • France • Germany • Great Britain • Swit ze r l a n d 18 Novx MiniPuls ESD Event Monitor Der Novx MiniPulse ESD Event Detector ist für das Monitoring von Prozessanlagen konzipiert. Durch sein platzsparendes Design kann er nahezu überall verbaut werden. Mit diesem System werden zuverlässig ESDEvents detektiert und ein Alarmsignal (Open Collector) ausgegeben, welches z. B. mit einer Facility Monitoring Software verarbeitet werden kann. Dank der Alarmfunktion ist schnelles Eingreifen gewährleistet. Spezielle Konfigurationen und Platzierung der Antenne ermöglicht die Detektion von ESD-Events – ausschließlich aus einer bestimmten Richtung. Messung elektrostatischer Auf ladung und ESD-Events Ionisatoren werden mithilfe eines Charge Plate Monitors eingemessen und auf optimale Funktion kontrolliert. Die Entladezeit von +/- 1000 V auf +/- 100 V sowie die Spannungsschwankung über 1 min werden dokumentiert. Um die geforderten Leistungsparameter zu erfüllen, müssen Ionisiergeräte bei Inbetriebnahme sowie in regelmäßigen Abständen eingemessen bzw. überprüft werden. Dieser Prozess ist Teil des PMT Service Konzepts. Sprechen Sie uns bei Interesse gerne darauf an. Bezeichnung Spezifikationen Betriebs- spannung 24 VDC, 0,075 A Emitter Tungsten Strömungsgeschindigkeit 22,6 lpm @ 5 psi - 100 lmp @ 50 psi (CDA oder N2) Reinraumklasse ISO 4 Größe (H x B x T) 6,4 x 3,8 x 11,4 cm Gewicht 136 g Bezeichnung Spezifikationen Betriebs- spannung 9 - 24 VDC, 30 mA Alarm LED, akkustischer Alarm, Open Collector Konfiguration Drehregler für Pulslänge Feldstärke 1 1000V/m, ± 20 V/m Größe (H x B x T) 5,3 x 5,0 x 1,9 cm Bezeichnung Spezifikationen Betriebs- spannung 90 - 250 VAC, 50/60 Hz, 12W oder 12V Batterie Betriebsmodus Entladezeit (± 1000V auf ± 100V); Balance: Zeitraum 1 min Größe (H x B x T) 12,7 x 27,9 x 22,9 cm

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