IONISATION TOGETHER WE CREATE SOLUTIONS Benelux • France • Germany • Great Britain • Switzerland 14 Deckenemittersystem Zur Ionisation ganzer Reinräume werden Deckenemitter verwendet. Diese werden an der Decke neben oder direkt unter den FFUs (filter fan unit) installiert. Das Entstehen elektrostatischer Aufladungen im gesamten Raum wird durch die permanente, großflächige Ionisierung unterbunden. Simco-Ion bietet hier das Modell 5515 an. Es handelt sich um ein voll digitales System. Eine Überwachung der Emitter ist daher über die Software IonManager Pro oder auch über eine Prozessleitsystem möglich. • Reduziert effektiv die Gefahr von ESD Schäden • Reduziert die Partikelbelastung im Reinraum • Verbessert Produkthandling • Wartungsarmes, langlebiges System • Längen Emitterstäbe: 6 cm – 168 cm Modell 5515 AeroBars AeroBars kommen zur Ionisation größerer Arbeitsbereiche und bei der Prozesstool-Ionisation zum Einsatz. Es gibt verschiedene Modelle in unterschiedlichsten Längen und Konfigurationen.Alle AeroBars benötigen eine laminare Luftströmung. • Große Flexibilität bei Einsatzbereichen • Bis ISO 14644-1 Klasse 1 geeignet • Emitterspitzen aus Titan,Wolfram und Silizium • Tool-Integration möglich • Druckluftunterstütztes Modell verfügbar • Schützt effektiv vor elektrostatischer Aufladung und ESD-Schäden • Verbessert Produkthandling Stand-Alone AeroBar 5225S Die AeroBar 5225S ist die perfekte Lösung für einzelne Arbeitsbereiche und Flow-Boxen. Ein geringer Installationsaufwand zeichnet diese Modellserie aus. Modelle für die Integration in Anlagen und Maschinen Zur Ionisation mehrerer Arbeitsflächen stellt die AeroBar 5225 eine Alternative zu Deckenemittern dar. Üblicherweise wird sie aber in Anlagen der Medizintechnik,Automobil- und Halbleiterindustrie verbaut. Typische Entladezeiten liegen zwischen 15 und 25 Sekunden. Kürzere Entladezeiten können druckluftunterstützte Modelle wie die Modulated Pulse AeroBar 5635 erreicht werden. AeroBar 5225 Modulated Pulse AeroBar Die Modulated Pulse AeroBar 5635 bietet verschiedene Möglichkeiten der Integration in Prozesstools. Sie ist in vielen verschiedenen Längen verfügbar. Dadurch ist dieses Modell sehr flexibel einsetzbar. Druckluftunterstützung ermöglicht sehr kurze Entlandezeiten. Die besondere Technologie (Modulated Pulse) ermöglicht dabei die Einhaltung geringer Spannungsschwankungen (Balance < ± 20 V). Weiterhin werden bei der Ionisation keine Partikel erzeugt, sodass dieses Modell sogar die strengen Anforderungen der ISO 14644-12 erfüllt. Die Modulated Pulse Aerobar 5635 zum Gerät der Wahl für State-of-the-Art Maschinen der Halbleiterindustrie. AeroBar 5635/5635M Bezeichnung Spezifikationen Betriebsmodi Pulsed DC, steady-state DC oder Stand-by Emitter Einkrisallines Silizium,Titan Länge Emitterstäbe 6,4 cm,12,7 cm, 25,3 cm, 38,1 cm, 61,0 cm, 91,4 cm, 152,4 cm,167,6 cm Reinraumklasse Silizium: ISO 14644 Klasse 1 Titan: ISO 14644 Klasse 3 Alarm LED, akustisch, Software Zubehör Kontrolleinheit 5522/5582, Infrarot Fern- bedienung 5572, Handheld Terminal 5571 Bezeichnung Spezifikationen Einstellbare Parameter On/Off-Time, Pause, Power (%) Betriebsmodi Pulsed DC, steady state, Stand-by Alarm LED, open Collector Emitter Silizium, Titan Reinraumklasse ISO 14644-1 Klasse 1 Abmessungen 53 x 30,5 x 569|721|907|1128|1412| 1636|1918|2144 cm Zubehör Netzteil 33-1432-01 Infrarot Fernbedienung 5570 Bezeichnung Spezifikationen Balance < 50 V Anschluss RJ-11 Einstellbare Parameter On/Off-Time, Power [%] Betriebsmodi Pulsed DC, steady state DC, standby Alarm LED, Software GUI Emitter Silizium Druckluftunterstützung – Reinraumklasse ISO 14644-1 Klasse 1 Abmessungen 53 x 30,5 x 569|721|907|1128|1412| 1636|1918|2144 mm Zubehör GUI IonMonitor, Interface Modul 91-5200-IM6T-V4.0, Netzteil 33-5200 Bezeichnung Spezifikationen Balance < ± 20 V Anschluss RJ-45 Einstellbare Parameter Spannung, Balance, Frequenz Frequenz 1-33 Hz Alarm LED, Software Emitter Silizium Druckluftunterstützung CDA oder N2 Parameter Druckluft max. 45 psi; 1-3,5 lpm/Düse Reinraumklasse ISO 14644-1 Klasse 1, ISO 14644-12 Abmessungen 78 x 34 x 500|600|850|1000|1150| 1300|1450|1600|1750|1900|2050| 2200|2350 mm
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