PMT Broschüre - HALBLEITER - CHEMIE - AUTOMOTIV

TOGETHER WE CREATE SOLUTIONS Benelux • France • Germany • Great Britain • Swit ze r l a n d SOLUTIONS HALBLEITER • CHEMIE • AUTOMOTIV

PMT HISTORIE UND KNOW-HOW 1 TOGETHER WE CREATE SOLUTIONS Benelux • France • Germany • Great Britain • Swit ze r l a n d 2 Unternehmen Die PMT Partikel-Messtechnik GmbH ist seit über 35 Jahren im Bereich der partikulären und mikrobiologischen Kontaminationskontrolle aktiv. PMT als Dienstleistungs- und Handelsunternehmen ist mit rund 50 Mitarbeitern in 5 Ländern vertreten. Aufbauend auf dem traditionellen Arbeitsgebiet der Partikelzählung entwickelt PMT vielfältige Gesamtlösungen in diversen Anwendungsfeldern der Partikelmesstechnik und der mikrobiologischen Kontaminationskontrolle. Das Know-How umfaßt alle Technologien zur Messung von Partikeln und Mikroorganismen in Luft, auf Oberflächen und in flüssigen Medien sowie die Ionisation, die Reinigung und Dekontamination von sterilen Bereichen. So bietet PMT Unterstützung bei der Einbindung hochpräziser Partikelmesstechniken in Gesamtanlagen und entwickelt dabei kundenspezifische Systemlösungen. Darüber hinaus steht das Unternehmen als unterstützender Partner in der anwendungsbezogenen Kundenberatung zur Verfügung, bietet Schulungen und einen kompetenten Techniksupport an. PMT Partikel-Messtechnik GmbH Heimsheim, Deutschland PMT Benelux N.V./S.A. Kampenhout, Belgien PMT France Dourdan Frankreich PMT (GB) Ltd. MalvernWorcestershire, Groß Britannien PMT Schweiz AG Egg ZH, Schweiz Neben dem Vertrieb von Lösungen zur partikulären und mikrobiellen Kontaminationskontrolle ist die dauerhafte Betreuung aller Anwender unser wichtigstes Anliegen. Der PMT-Service bietet Ihnen: • Hohe Verfügbarkeit durch ein Netz von Servicestützpunkten in Europa • Professionelle Unterstützung durch fortlaufend geschultes Servicepersonal • ISO 9001 zertifiziert Zählen Sie auf uns – auch nach dem Kauf! Rund die Hälfte der PMT-Mitarbeiter arbeitet in unseren Servicestützpunkten und geben Ihnen genau die Unterstützung, die Sie im Produktionsalltag benötigen. Wir bieten Ihnen einen umfassenden Service und somit Sicherheit durch langjährige Erfahrung. Folgende Dienstleistungen haben wir im Portfolio: • Gerätewartung und -kalibrierung • Serviceverträge • Inbetriebnahme und Qualifizierung (IQ/OQ) für Partikel- und Keimzähler sowie Software (FMS/OPC UA) • Inbetriebnahme, Wartung und Service Ionisation Service Luftpartikelzähler • ISO-konforme Kalibrierungen (auch vor Ort) • ISO 21501-04 • ISO 17025* • UKAS Akkreditierung • Kalibrierung mittels zertifizierter Kalibrier- standards und Referenzgeräte • Qualifikationspakete parallel erhältlich • Kundenschulungen im Schulungszentrum in Heimsheim Service Flüssigkeitspartikelzähler • Kalibrierungen konform zu USP <787>, FDA 21 CFR Part 11, Ph.Eur 2.9.19. und der „Japanese Pharmacopeia“ (JP) (auch vor Ort) • Qualifikationspakete parallel erhältlich • Kundenschulungen im Schulungszentrum in Heimsheim *Modellabhängig (auf Anfrage)

Portable Luftpartikelzähler AeroTrak® 9000er Serie Die mobilen, handlichen AeroTrak® Partikelzähler der 9000er Serie zeichnen sich durch das große TouchScreen-Display, die intuitive Menüführung und das reinigungsfreundliche Design aus. Die Berichte sind konform zu ISO 14644-1, EU GMP Annex 1 sowie FS209E und können mit dem integrierten Drucker protokolliert werden. Alternativ können die Messdaten durch die mitgelieferte Software ausgewertet und verarbeitet werden. Selbstverständlich sind die Geräte sowie die Software konform zu 21 CFR Part 11. Reinraumsensoren für Temperatur, Luftfeuchte und Luftgeschwindigkeit können in die Partikelmessung integriert werden. Diese Reinraumdaten werden gleichberechtigt mit den Partikelzahlen verwaltet. Die Auslieferung des portablen Partikelzählers erfolgt mit einer ISO 21501-4 konformen Werkskalibrierung. Optional ist auch eine akkreditierte Kalibrierung nach ISO 17025 möglich. Handheld Partikelzähler AeroTrak® 9306 Der AeroTrak® 9306 ist ein Handheld mit flexiblen Einsatzmöglichkeiten. Er verfügt über alle Leistungsmerkmale der Schwestermodelle der 9000er Serie. Der Durchfluß beträgt bei diesem Modell 0,1 cfm (2,83 l/min). Über den 9,1 cm großen farbigen Touchscreen lässt sich das Gerät einfach konfigurieren und bedienen. Dieses Modell ist in der Lage, Berichte (bestanden und nicht bestanden) für ISO 14644-1, EU GMP-Richt- linien, Anhang 1 und FS209E zu erstellen. Messdaten können auf dem Bildschirm angezeigt und direkt an einen externen Drucker übermittelt werden. Mittels der standardmäßig mitgelieferten DatenDownload und Reporting Software TrakProTM Lite Secure können mehrere Partikelzählerkonfigurationen bequem gespeichert und bei Bedarf hochgeladen werden. Das AeroTrak® 9306 Modell entspricht den strengen, in der Norm ISO 21501-4 festgelegten, Richtlinien. PARTIKELZÄHLUNG IN LUFT 3 Modell Durchflußmenge Partikelgrößen- kanäle AeroTrak® 9310 28,3 l/min 0.3, 0.5, 1.0, 3.0, 5.0, 10.0 μm AeroTrak® 9510 28,3 l/min 0.5, 0.7, 1.0, 3.0, 5.0, 10.0 μm AeroTrak® 9350 50 l/min 0.3, 0.5, 1.0, 2.0, 3.0, 5.0 μm (10.0 μm) AeroTrak® 9550 50 l/min 0.5, 0.7, 1.0, 3.0, 5.0, 10.0 μm AeroTrak® 9500 100 l/min 0.5, 0.7, 1.0, 3.0, 5.0, 10.0 μm Modell Durchflußmenge Partikelgrößen- kanäle AeroTrak® 9306-03 2,83 l/min 0.3, 0.5, 0.7, 1.0, 2.0, 5.0 μm AeroTrak® 9306-04 2,83 l/min 0.3, 0.5, 1.0, 3.0, 5.0, 10.0 μm AeroTrak® 9306-V2 2,83 l/min 0.3, 0.5, 1.0, 3.0, 5.0, 10.0 μm TOGETHER WE CREATE SOLUTIONS Benelux • France • Germany • Great Britain • Swit ze r l a n d 4 Remote Partikelzähler AeroTrak® 7110 Der AeroTrak® 7110 Partikelzähler gewährleistet präzise Messungen von Partikeln ab 0.1 µm. Das Gerät wurde für die Reinraumüberwachung, Prozessinstrumentenüberwachung und Filtertestanwendungen konzipiert. Der Betrieb des Partikelzählers erfolgt mit einer externenVakuumversorgung. Zwecks sicherer Datenerfassung und -analyse lassen sich die Daten der Partikelzählung einfach und fortlaufend an ein Anlagenüberwachungssystem übermitteln. Der AeroTrak® 7110 vonTSI erfüllt die Richtlinien der ISO 21501-4. • Messung von Partikeln ab 0.1 µm • ISO 21501-4 konform • HoheWiederholgenauigkeit und Zuverlässigkeit der Messungen und Daten • Speicherung von 2.000 Proben (Datenredundanz) • Einfache Ankopplung an Anlagenüberwachungssysteme • Edelstahlgehäuse • Anwendung mit externer Vakuumpumpe Remote Partikelzähler AeroTrak® 6000er Serie Die AeroTrak® Remote-Partikelzähler mit integrierter Pumpe sind eigenständige Überwachungssysteme, welche in einem kompakten und leicht zu reinigenden 316L-Edelstahlgehäuse eingebaut sind. Durch die integrierte Pumpe entfällt die Notwendigkeit für eine externe Vakuumquelle. An die Geräte können zusätzlich Umweltsensoren (24 VDC Versorgungsspannung, 4-20 mA Signal) angeschlossen werden. • ISO 21501-4 konform • Notwendigkeit für ein zentralesVakuumsystem entfällt • Internes Gebläse mit Trennschieber und geringer Wärmentwicklung • 4 standardmäßige 4-20mA-Analogeingänge senken Integrationsaufwand und Installationskosten für den Umgebungssensor • 316L-Edelstahlgehäuse, Probensonde und Verschluss aus Edelstahl • Ethernet (TCP/IP), serielle Modbus-RTU-Kommunikation und vier 20mA-Analogdatenausgänge Modell Durchflußmenge Partikelgrößen- kanäle AeroTrak® 7110 28,3 l/min 0.1, 0.15, 0.2, 0.25, 0.3, 0.5,0, 1.0,5.0 μm Modell Durchflußmenge Partikelgrößen- kanäle AeroTrak® 6310 28,3 l/min 0.3, 0.5, 0.7, 1.0 μm AeroTrak+® 6510 und 6510-VHP 28,3 l/min 0.5, 0.7, 1.0, 5.0 μm

Portabler hochempfindlicher Luftpartikelzähler AeroTrak® 9110 Der AeroTrak® 9110 ist ein mobiler Partikelzähler mit einem Messbereich ab 0.1 µm und erfüllt alle Vorgaben der ISO 21501-4. Das Messgerät arbeitet mit einem Durchfluss von 1 cfm. Die acht Partikelgrößenkanäle starten bei 0.1 µm und enden bei ≥ 5 µm. Reinraumsensoren für Temperatur, Luftfeuchte und Luftgeschwindigkeit können in die Partikelmessung integriert werden. Diese Reinraumdaten werden gleichberechtigt mit den Partikelzahlen verwaltet. • 4 Jahre Garantie auf die Lasereinheit • ISO 21501-4 konform • Speicher für 10.000 Messungen • Akustischer Alarm • Erlaubt Speicherung und Abruf von spezifischen Tests/Daten • Anzeige von bis zu drei Umweltparameter • Edelstahlgehäuse • Eigenständige Anwendung oder Integration in Anlagenüberwachungssysteme • Reinraumklassifizierung bis ISO-Klasse 1 • Ermöglicht Messung von Prozessgasen durch Kombination mit Hochdruckdiffusor Nanopartikelzähler AeroTrak® 9001 CPC Der Luftpartikelzähler AeroTrak® 9001 CPC (Cleanroom Condensation Particle Counter) ist ein auf Wasser basierender Kondensationskernzähler für das Nanopartikelmonitoring kritischer Prozessumgebungen. Die patentierten Technologien ermöglichen Nanopartikel-Detektion und -Zählung ab 10 nm bei einem Durchsatz von 2,83 l/min (0,1 cfm). Der Kondensationskernzähler AeroTrak® 9001 CPC eignet sich besonders für den Einsatz in Reinraum-Umgebungen der ISO Klasse 1 und 2. DieVersorgung mit Reinstwasser kann per Direktanschluss im Reinraum erfolgen. Auf das Einbringen kritischer Chemikalien zur Versorgung kann gänzlich verzichtet werden. • komptaktes Design • Portabel oder stationär einsetzbar • Einfache und benutzerfreundliche Bedienung per Touchscreen • Verschiedene Schnittstellen und Protokolle (USB- Flash/Standard; Ethernet, ModBus) • Kompatibilität mit FMS-Monitoring Software • Betrieb mit Reinstwasser PARTIKELZÄHLUNG IN LUFT – REINRAUMMONITORING 5 Modell Durchflußmenge Partikelgrößen- kanäle AeroTrak® 9110 28,3 l/min 0.1, 0.15, 0.2, 0.25, 0.3, 0.5,0, 1.0, 5.0 μm TOGETHER WE CREATE SOLUTIONS Benelux • France • Germany • Great Britain • Swit ze r l a n d 6 Remote Partikelzähler mit Pumpe AeroTrak®+ 6000er Serie AeroTrak®+ Remote Partikelzähler mit integrierter Pumpe sind ideal für die Installation an Orten, an denen kein externesVakuumsystem vorhanden ist. Mit einer internen Pumpe und einer drahtlosen Kommunikationstechnologie mit großer Reichweite, reduzieren sie die Komplexität und Kosten der Installation in Einrichtungen mit begrenzter Infrastruktur. Es ist einfach, diese räumlich neu zu positionieren, wenn sich Fertigungspläne ändern. • 5 Jahre Laser-Garantie • ISO 21501-4 konform • Interner Speicher für 250.000 Datensätze • Einfache Integration in die TSI FMS Software • Anbindung an externe SCADA via OPC UA möglich • Einfache Integration in Fremdsysteme mit 4-20 mA analogem Datenausgang (modellabhängig) • Integrierte Pumpe Remote Partikelzähler AeroTrak®+ 7000er Serie AeroTrak®+ Remote Partikelzähler bieten Zuverlässigkeit und problemlosen Betrieb bei der Messung eines breiten Spektrums von Partikelgrößen. Durch die platzsparende Bauart können die Geräte nahezu überall installiert werden. • 5 Jahre Laser-Garantie • ISO 21501-4 konform • Einfache Integration in die TSI FMS Software • Anbindung an externe SCADA via OPC UA möglich • Einfache Integration in Fremdsysteme mit 4-20 mA analogem Datenausgang (modellabhängig) • Modell 7510 ermöglicht 21 CFR Part 11 Datenerfassung mit FMS Software, erfüllt die aseptischen Verarbeitungsrichtlinien der EU und der USA FDA mit 1 CFM (28,3 l/min) Durchfluss, 0.5 µm und 5 µm Kanalgrößenoptionen / VHP-beständige Modelloption Modell Durchflußmenge Partikelgrößen- kanäle AeroTrak+® 6201 2,83 l/min 0.2, 0.3 μm 0.2, 0.3, 0.5, 1.0 μm AeroTrak+® 6301 2,83 l/min 0.3, 0.5, 1.0, 5.0 μm 0.3, 0.5, 5.0, 10.0 μm 0.3, 0.5, 1.0, 5.0, 10.0, 25.0 μm AeroTrak+® 6501 2,83 l/min 0.5, 1.0, 5.0, 10.0 μm 0.5, 5.0, 10.0, 25.0 μm 0.5, 1.0, 5.0, 10.0, 25.0 μm Modell Durchflußmenge Partikelgrößen- kanäle AeroTrak+® 7201 2,83 l/min 0.2, 0.3 μm 0.2, 0.3, 0.5, 1.0 μm AeroTrak+® 7301 2,83 l/min 0.3, 0.5 μm 0.3, 0.5, 1.0, 5.0 μm 0.3, 0.5, 5.0, 10.0 μm 0.3, 0.5, 1.0, 5.0, 10.0, 25.0 μm AeroTrak+® 7310 28,3 l/min 0.3, 0.5 μm 0.3, 0.5, 1.0, 5.0 μm 0.3, 0.5, 5.0, 10.0 μm AeroTrak+® 7501 2,83 l/min 0.5, 5.0 µm 0.5, 1.0, 5.0, 10.0 µm 0.5, 5.0, 10.0, 25.0 µm 0.5, 1.0, 5.0, 10.0, 25.0 µm AeroTrak+® 7510 28,3l/min 0.5, 5.0 μm 0.5, 1.0, 5.0, 10.0 μm 0.5, 5.0, 10.0, 25.0 μm Wireless Funktion Für die AeroTrak®+ Remote Partikelzähler der 6000er und 7000er Serie ist die Wireless Funktion verfügbar. Das Wi-Fi Node (TSI P/N 700500) kann einfach und schnell über eine 6-polige Steckverbindung an der Geräteunterseite angeschlossen werden. Modell Durchflußmenge Partikelgrößen- kanäle AeroTrak® 9001 2,83 l/min > 10.0 nm

REINRAUMMONITORING 7 TOGETHER WE CREATE SOLUTIONS Benelux • France • Germany • Great Britain • Swit ze r l a n d 8 Monitoring LAN  FMS Client FMS SQL Data Server Alarmeinheit Umweltsensoren FMS – Facility Monitoring Software Für die Kontaminationskontrolle in kritischen Prozessumgebungen wie beispielsweise Reinräumen, Isolatoren und RABS, bietet sich dieVerwendung mehrerer stationärer Partikelzähler bzw. Keimsammler an. Die Ausgabe der Messdaten erfolgt dabei über eine zentrale Facility Monitoring Software (FMS). Durch die kontinuierliche Überwachung kritischer Prozessparameter können zum einen Trends beobachtet werden und zum anderen kann man direkt auf Überschreitungen von vorher definierten Alarmgrenzen reagieren. Durch das direkte Eingreifen bei einemAlarm kann eine schnelle Intervention erfolgen, was zur Reduzierung von Ausschussprodukten und somit von Kosten führt. Das Monitoringsystem besteht standardmäßig aus drei separaten Komponenten. Der Monitor sammelt die aufgezeichneten Daten, welche parallel dazu auf dem Client-PC abgerufen werden. Die Speicherung der Daten erfolgt auf einem Server in einer SQL-Datenbank.Als vierte Komponente erlaubt ein OPC UA Server die bidirektionale Kommunikation zu anderen Systemen. Zusätzlich dazu besteht die Möglichkeit einer Spiegelung von Monitor und Datenbank, um bei einem möglichen Ausfall einer Komponente die fortlaufende Datensicherung zu gewährleisten. Durch den modularen Aufbau ist FMS auch offen für Umweltsensoren und Alarmeinheiten TCP/ IP- Ethernetprotokolle, Power over Ethernet-Anbindung, Modbus-Protokolle, OPCAnbindung, 4-20 mAAnalogschnittstellen. • Einbindung aller TSI Luftpartikel- und Luftkeimzähler sowie AeroTrak® 9001 CPC • Zusätzliches Monitoring von bspw.Temperatur, Differenzdruck, Luftfeuchte und Alarmzuständen • Benutzerfreundliche Oberfläche • Einbindung von Gebäudegrundrissen möglich • Erstellen von Diagrammen und individuellen Reports • 21 CFR Part 11 konform OPC UA Server FMS Monitor OPC UA

PARTIKELMESSUNG AUF OBERFLÄCHEN TOGETHER WE CREATE SOLUTIONS Benelux • France • Germany • Great Britain • Swit ze r l a n d 10 Partikelmessung auf Oberflächen PartSens 4.0 und PartSens+ 4.0 Der PartSens 4.0 ist ein tragbares Messsystem mit drahtlosem Messkopf zur direkten Messung von Partikeln auf Oberflächen. Das Messergebnis wird einschließlich der aufgenommenen Bilder in Echtzeit per WLAN übermittelt und auf dem Bildschirm dargestellt. Das Model PartSens+ 4.0 bietet zusätzliche Möglichkeiten zur Unterscheidung von metallischen und nicht metallischen Partikeln und Fasern auf Oberflächen. Mobiles Design und einfachste Bedienung machen dieses Messgerät zur perfekten Lösung für Unternehmen, die saubere Oberflächen von Produkten oder einer Produktionsumgebung sicherstellen müssen. Durch dieVerwendung der Streiflichttechnologie werden reproduzierbare und hochgenaue Messergebnisse erzeugt. Komplexe, mehrstufige Analysemethoden (Bauteilspülung, gefolgt von Filtration mit anschließender Filteranalyse) entfallen. Zur Archivierung oder für spätere Vergleichsmessungen erfolgt die Datenspeicherung im Partikelzähler. Optional kann das Messergebnis über einen externen Drucker ausgegeben werden. Das Live-Bild ermöglicht die Erkennung von Strukturen sowie Partikeln und unterstützt dadurch eine optimale Positionierung des Messkopfs. Das System kann auf unterschiedlichsten Oberflächenmaterialien, wie z. B. Edelstahl, Silizium, Glas und Kunststoff eingesetzt werden. • Tragbarer Oberflächen-Partikelzähler mit drahtlosem Messkopf • Messprinzip: Streiflicht (vergl.VDA 19 Teil 2) • Größenbereich: < 5 µm bis > 3000 µm • Partikelauswertung PartSens+ 4.0: • Größe und Anzahl • nicht-metallische Partikel, metallisch glänzende Partikel und Fasern • Partikelgrößenzuordnung nachVDA 19 Teil 2 respektive ISO 16232 und 14644-9 möglich • Ausgabe des Illig-Werts • Messfläche: 2,68 cm2 (19,36 mm x 13,82 mm) • Messdauer < 10 Sekunden • Einzel- und Serienmessung • Datenausgabe und Live-Bild auf dem 12,1” TFT Touchscreen-Bildschirm • Daten-Speichervolumen: 300 Messungen • 2 USB-Typ-A-Schnittstellen zur Datensicherung, Anschluss von Maus und Tastatur • HDMI-Schnittstelle zumAnschluss eines externen Monitors Bezeichnung Spezifikationen Kanalgrößeneinteilung VDA 19Teil 2, ISO 16232, ISO 14644-9 Kundenspezifisch Einteilungen möglich Metallische Partikel > 25 μm bis > 3000 μm Nicht-metallische Partikel < 5 μm bis > 3000 μm Fasern > 50 μm bis > 3000 μm TapeLift Pads Die speziell für den PartSens 4.0 Oberflächen-Partikelzähler entwickelten TapeLift Pads eignen sich bestens für die produktionsnahe Überwachung der Bauteilsauberkeit nach ISO 16232 und demVDA Band 19. Mit Hilfe der TapeLift Pads können unterschiedliche Oberflächen abgeklatscht und anschließend mit dem PartSens 4.0 Oberflächen-Partikelzähler analysiert werden. Das flexible TapeLift Pad besteht aus einem hydrokolloiden und gelartigen Material. Schmutzpartikel können von geraden oder auch gekrümmten Oberflächen effizient aufgenommen und auf dem TapeLift Pad fixiert werden. Die Analyse und Auswertung erfolgt, mit dem mobilen PartSens 4.0 Oberflächen-Partikelzähler, zeitnah und direkt vor Ort. Das aufwendigeVerschließen,Verpacken undVersenden der TapeLift Pads an ein Prüflabor entfällt und somit auch die Gefahr möglicher Querkontaminationen. Innerhalb kürzester Zeit (<10 Sekunden) wird dieAnzahl und die Größe der Partikel ausgegeben. • Hydrokolloid und gelartige TapeLift Pads • Abmessung/Auflagefläche: Ø 36 mm • Kosten- und Zeitersparniss • Vor-Ort-Auswertung • Verpackungseinheit: 20 Stück TapeLift Pads Partikelfalle Die Partikelfalle ist eine schnelle Möglichkeit der Analyse und Auswertung sedimentierter Partikel in Verbindung mit der speziell entwickelten Messvorrichtung und dem PartSens 4.0 Oberflächen-Partikelzähler. Die im VDA Band 19 respektive ISO 16232 und ISO 14644 -9 genannten Prüfverfahren zur Bestimmung von partikulärer Kontamination in der Fertigungsumgebung können schnell und kostengünstig mit Hilfe dieser Partikelfalle bestimmt werden. Sie werden in einem bestimmten Bereich ausgelegt und nach einer vordefinierten Zeit wieder eingesammelt. Die auf der Partikelfalle sedimentierten und fixierten Partikel werden im Anschluss mit Hilfe der Messvorrichtung und dem PartSens 4.0 OberflächenPartikelzähler analysiert. Eine schnelle und sofort verfügbare Auswertung, keine falsch Positiven bezüglich Querkontamination sowie hohe Kosteneinsparungen sind die Vorzüge dieser Partikelfalle. Die Analyse erfolgt unmittelbar nach dem Einsammeln. Das zeitaufwendige Verschließen, Verpacken und Versenden der Partikelfallen an ein Prüflabor entfällt und somit auch die Gefahr möglicher Querkontaminationen. • Hydrokolloid und gelartige Partikelfalle • Auswertung mit Messvorrichtung und PartSens 4.0 Oberflächen-Partikelzähler • VDA Band 19 resprektive ISO 16232 und ISO 14644 -9 konforme Messmethode • Kosten- und Zeitersparnis • Vor-Ort-Auswertung • Verpackungseinheit: 5 Stück

PARTIKELMESSUNG IN FLÜSSIGKEITEN KS-19F Das KS-19F misst Partikel ab 30 nm. Die KS-Modelle eignen sich für hochsensitive Anwendungen und zeichnen sich durch eine sehr niedrige Nullzählrate aus. TOGETHER WE CREATE SOLUTIONS Benelux • France • Germany • Great Britain • Swit ze r l a n d 12 KL-30 – Partikelzählung in Reinstwasser Die Geräte der KL-30 Serie sind ausschließlich zur Messung von Partikeln in Reinstwasser geeignet. Ein Flow-Controller ist bereits im Gerät integriert, ebenso wie ein Drucker zum schnellen Ausdruck der Ergebnisse ohne Umwege über eine Software.Weiterhin informieren Status-LEDs über einen Alarm bei Überschreiten der Koinzidenzgrenze oder bei schwachem Laser. Dies gewährleistet valide Messergebnisse. Modell Messbereich Zähleffizienz Probenflussrate Koinzidenzgrenze KS-19F > 0.03 µm – > 0.13 µm 5 % ± 1,5 % 10 ml/min 40.000 part./ml (10 %) Modell Messbereich Zähleffizienz Probenflussrate Koinzidenzgrenze KS-42A KS-42AF > 0.1 µm – > 0.5 µm 70 % ± 15 % (KS-42AF: 60 % ± 15 %) * 10 ml/min 1.200 part./ml (5 %Verlust) KS-42B KS-42BF > 0.2 µm – > 2 µm 70 % bis 110 % * 10 ml/min 1.200 part./ml (5 %Verlust) KS-42C > 0.5 µm – > 20 µm 70 % bis 110 % * 10 ml/min 1.200 part./ml (5 %Verlust) KS-42D > 2 µm – > 100 µm 100 % ± 20 % * 25 ml/min 10.000 part./ml (10 %Verlust) Modell Messbereich Zähleffizienz Probenflussrate Koinzidenzgrenze KL-30A ≥ 0.05 µm – ≥ 0.2 µm 10 % ± 3 % 20 ml/min; eff.: 2 ± 0,6 ml/min 15.000 part./ml (10 %) KL-30B ≥ 0.05 µm – ≥ 0.2 µm 1 % ± 3 % 10 ml/min; eff.: 1 ± 0,03 ml/min 15.000 part./ml (10 %) Modell Messbereich Zähleffizienz Probenflussrate Koinzidenzgrenze KS-41A > 0.15 µm – > 0.5 µm 50 % ± 10 % * 10 ml/min 10 ml/min 1.200 part./ml (5 %Verlust) KS-41B > 0.1 µm – > 0.5 µm 50 % ± 10 % * 5 ml/min 9.600 part./ml (10 %Verlust) * Die geräteindividuelle Zähleffizienz wird bei der Kalibrierung im Servicereport ausgewiesen. Partikelzählung in Chemikalien undWasser RION KL-30, KS-19F, KS-42 und KS-41 Serien Zur Messung von Partikeln in Chemikalien undWasser bietet RION ein breites Produktportfolio von Flüssig- partikelzählern an. Mit der Modellreihe KL-30 werden Partikel in Reinstwasser gemessen. Die Modellreihe KS-42 ermöglicht zusätzlich die Partikelmessung in bestimmten Säuren und Basen. Alle „F“-Modelle, wie zum Beispiel das KS-42AF und das KF-19F, sind mit einer Saphirglas-Messzelle ausgestattet und erlauben die Partikelmessungen in HF. Die Modellreihe KS-41 ist speziell für die Partikelmessung in Lösungen, wie beispielsweise Photolacken konzipiert. Das empfindlichste Modell in der Reihe ist das KS-19F – mit einen Messbereich von 0.03 μm bis 0.13 μm. Alle Geräte der KS-Serien bilden zusammen ein flexibles, modulares System. • Einstellung von bis zu 10 Partikelgrößenkanälen • Optische und akustische Leckage-Warnung • OptischeWarnung bei defektem Laser • Kommunikationsschnittstelle PC (CSV-Format) • Datenspeicherung auf CF-Card (TSV-Format) • Datenausdruck über integrierten Drucker • Batch-Betrieb oder Inline/Byline-Betrieb möglich KS-41 Die Geräte der Serie KS-41 wurden speziell für die Partikelmessung in Lösungen entwickelt. Hierzu zählen Photolacke, Antireflexbeschichtungen und andere polymere Lösungen. KS-42 Für einen Messbereich > 0.1 µm bis > 100 µm finden die Modelle der Serie KS-42 Anwendung. Alle F-Modelle sind mit einer Saphirglas-Messzelle ausgestattet und dadurch HF-beständig.

IONISATION TOGETHER WE CREATE SOLUTIONS Benelux • France • Germany • Great Britain • Swit ze r l a n d 14 Deckenemittersystem Zur Ionisation ganzer Reinräume werden Deckenemitter verwendet. Diese werden an der Decke neben oder direkt unter den FFUs (filter fan unit) installiert. Das Entstehen elektrostatischer Aufladungen im gesamten Raum wird durch die permanente, großflächige Ionisierung unterbunden. Simco-Ion bietet hier das Modell 5515 an. Es handelt sich um ein voll digitales System. Eine Überwachung der Emitter ist daher über die Software IonManager Pro oder auch über eine Prozessleitsystem möglich. • Reduziert effektiv die Gefahr von ESD Schäden • Reduziert die Partikelbelastung im Reinraum • Verbessert Produkthandling • Wartungsarmes, langlebiges System • Längen Emitterstäbe: 6 cm – 168 cm Modell 5515 AeroBars AeroBars kommen zur Ionisation größerer Arbeitsbereiche und bei der Prozesstool-Ionisation zum Einsatz. Es gibt verschiedene Modelle in unterschiedlichsten Längen und Konfigurationen.Alle AeroBars benötigen eine laminare Luftströmung. • Große Flexibilität bei Einsatzbereichen • Bis ISO 14644-1 Klasse 1 geeignet • Emitterspitzen aus Titan,Wolfram und Silizium • Tool-Integration möglich • Druckluftunterstütztes Modell verfügbar • Schützt effektiv vor elektrostatischer Aufladung und ESD-Schäden • Verbessert Produkthandling Stand-Alone AeroBar 5225S Die AeroBar 5225S ist die perfekte Lösung für einzelne Arbeitsbereiche und Flow-Boxen. Ein geringer Installationsaufwand zeichnet diese Modellserie aus. Modelle für die Integration in Anlagen und Maschinen Zur Ionisation mehrerer Arbeitsflächen stellt die AeroBar 5225 eine Alternative zu Deckenemittern dar. Üblicherweise wird sie aber in Anlagen der Medizintechnik,Automobil- und Halbleiterindustrie verbaut. Typische Entladezeiten liegen zwischen 15 und 25 Sekunden. Kürzere Entladezeiten können druckluftunterstützte Modelle wie die Modulated Pulse AeroBar 5635 erreicht werden. AeroBar 5225 Modulated Pulse AeroBar Die Modulated Pulse AeroBar 5635 bietet verschiedene Möglichkeiten der Integration in Prozesstools. Sie ist in vielen verschiedenen Längen verfügbar. Dadurch ist dieses Modell sehr flexibel einsetzbar. Druckluftunterstützung ermöglicht sehr kurze Entlandezeiten. Die besondere Technologie (Modulated Pulse) ermöglicht dabei die Einhaltung geringer Spannungsschwankungen (Balance < ± 20V). Weiterhin werden bei der Ionisation keine Partikel erzeugt, sodass dieses Modell sogar die strengenAnforderungen der ISO 14644-12 erfüllt. Die Modulated Pulse Aerobar 5635 zum Gerät der Wahl für State-of-the-Art Maschinen der Halbleiterindustrie. AeroBar 5635/5635M Bezeichnung Spezifikationen Betriebsmodi Pulsed DC, steady-state DC oder Stand-by Emitter Einkrisallines Silizium,Titan Länge Emitterstäbe 6,4 cm,12,7 cm, 25,3 cm, 38,1 cm, 61,0 cm, 91,4 cm, 152,4 cm,167,6 cm Reinraumklasse Silizium: ISO 14644 Klasse 1 Titan: ISO 14644 Klasse 3 Alarm LED, akustisch, Software Zubehör Kontrolleinheit 5522/5582, Infrarot Fern- bedienung 5572, HandheldTerminal 5571 Bezeichnung Spezifikationen Einstellbare Parameter On/Off-Time, Pause, Power (%) Betriebsmodi Pulsed DC, steady state, Stand-by Alarm LED, open Collector Emitter Silizium, Titan Reinraumklasse ISO 14644-1 Klasse 1 Abmessungen 53 x 30,5 x 569|721|907|1128|1412| 1636|1918|2144 cm Zubehör Netzteil 33-1432-01 Infrarot Fernbedienung 5570 Bezeichnung Spezifikationen Balance < 50V Anschluss RJ-11 Einstellbare Parameter On/Off-Time, Power [%] Betriebsmodi Pulsed DC, steady state DC, standby Alarm LED, Software GUI Emitter Silizium Druckluftunterstützung – Reinraumklasse ISO 14644-1 Klasse 1 Abmessungen 53 x 30,5 x 569|721|907|1128|1412| 1636|1918|2144 mm Zubehör GUI IonMonitor, Interface Modul 91-5200-IM6T-V4.0, Netzteil 33-5200 Bezeichnung Spezifikationen Balance < ± 20V Anschluss RJ-45 Einstellbare Parameter Spannung, Balance, Frequenz Frequenz 1-33 Hz Alarm LED, Software Emitter Silizium Druckluftunterstützung CDA oder N2 Parameter Druckluft max. 45 psi; 1-3,5 lpm/Düse Reinraumklasse ISO 14644-1 Klasse 1, ISO 14644-12 Abmessungen 78 x 34 x 500|600|850|1000|1150| 1300|1450|1600|1750|1900|2050| 2200|2350 mm

IONISATION TOGETHER WE CREATE SOLUTIONS Benelux • France • Germany • Great Britain • Swit ze r l a n d 16 Overhead Blower Zur Ionisation strömungsarmer Arbeitsbereiche eignen sich Overheadblower. Diese werden in einemAbstand von ca. 80 bis 150 cm über Förderbändern und über Arbeitsplätzen installiert. Das Handling kleiner, leichter Plastikbauteile kann so erheblich verbessert und die Anziehung von Partikeln minimiert werden. • Einfache Installation • Sekundenschnelle Entladung • Zugelassen bis ISO 14644-1 Klasse 4 • Luftstrom regelbar • Verbessert Produkthandling • Reduziert Partikelbelastung • Stand-Alone und Daisy Chaining möglich • Sehr wartungsarm durch automatische Emitterspitzenreinigung Modellbeispiel: Modell 5810i Benchtop Blower Mit handlichenTischgeräten lassen sich gezielt kleinere Bereiche ionisieren. Ein Benchtop Blower ist die ideale Ergänzung für einen ESD-Arbeitsplatz, an dem punktuell ionisiert werden soll. Bei den meisten Geräten kann die Lüftergeschwindigkeit eingestellt werden. Einige Geräte haben zusätzlich eine integrierte Heizfunktion, um kalten Händen und Zugerscheinungen entgegenzuwirken. Das Sondermodell 5802i ist für einen Einsatz in Reinräumen bis zur ISO 14644-1 Klasse 4 geeignet. • Einfachste Handhabung • Sekundenschnelle Entladung • Luftstrom regelbar • Teilweise integrierte Heizfunktion • Maximale Flexibilität beim Gebrauch • Sehr wartungsarm Modellbeispiel: Aerostat PC2 Bezeichnung Spezifikationen Emitter Titan Heizung – Balance ≤ ±3V (≤ ±1V mit Feedback System) Reinraumklasse ISO 14644-1 Klasse 4 Einstellbare Parameter Lüftergeschwindigkeit (schnell/langsam) Abmessungen (H x B x L) 9,6 x 15,5 x 81,3 | 101,6 | 111,8 cm Extended Coverage Blower Kann kein Overhead Blower installiert werden und ist die zu ionisierende Fläche zu groß für einTischgebläse, stellt ein Extended Coverage Blower eine Alternative dar. Selbst aus 2 Metern Abstand beträgt die Entladezeit <15 Sekunden. Aufgrund seines geringen Gewichts kann das Gerät direkt über Oberflächen oder an einer Wand montiert werden. Die Balance von < ± 10 V ermöglicht den Einsatz des Geräts für die Produktion empfindlicher elektronischer Komponenten, wie bspw. Displays und Mikrochips. Hinzu kommen weitere Merkmale wie ein eingebauter Emitterspitzenreiniger, eine Heizfunktion und eine 3-stufige Einstellung für die Lüftergeschwindigkeit. Das Gerät kann in Reinräumen bis ISO 14644-1 Klasse 6 eingesetzt werden. Modellbeispiel: Aerostat XC2 Ionisationspistolen Für punktgenaue, sekundenschnelle Ionisation eignen sich am besten Ionisationspistolen, wie die TopGun 111 oder das Modell 6115. Innerhalb weniger Sekunden werden Oberflächen und Bauteile elektrostatisch entladen und anhaftende Partikel entfernt. Die Handhabung von Kunststoffteilen und Folien wird erleichtert und die technische Sauberkeit nachweislich verbessert. • Sekundenschnelle Entladung • Entfernen von Partikeln • Handliche, flexible Ionisationslösung • Modellabhängig Betrieb im Reinraum möglich • Betrieb per Hand, Fußpedal oder optischem Sensor Modellbeispiel: 6115 undTopGun III Bezeichnung Spezifikationen Air flow 129 cfm Heizung ✓ Reinraumklasse – Einstellbare Parameter Ein/Aus-Schalter und Lüftergeschwindigkeit Größe (H x B x T) 23,1 x 17,3 x 8,4 cm Gewicht 1,25 kg Bezeichnung Modell 6115 TopGun III Emitter Wolfram Stahl Druckluft 20-65 psi CDA oder N2 100 psi max. CDA oder N2 Gasanschluss 1/4" Schnellkupplung (männlich) 1/4“ NPT (weiblich) Schallpegel 70 dBA @ 1 m, 30 psi 76/89/97 dBA @ 30/60/100 psi @ 60 cm Reinraumklasse ISO 4 – Partikelfilter 0.01 µm 0.01 µm Gewicht 341 g, console: 326 g 185 g Bezeichnung Spezifikationen Air flow 95 - 150 cfm Heizung ✓ Reinraumklasse ISO 14644-1 Klasse 6 Einstellbare Parameter Ein/Aus-Schalter, Lüftergeschwindigkeit, Emitterspitzenreiniger Größe (H x B x T) 18,3 x 35,9 x 16,6 cm Gewicht 3,2 kg

IONISATION Modelle für den Anlagenbau Für die Integration in Prozesstools eignen sich, dank ihrer kompakten Abmessungen, Point of Use Ionisationsgeräte. Exemplarisch ist hier das Modelle QuadBar und das Inline-FusION genannt. QuadBar Das Modell QuadBar kann sowohl mit als auch ohne Druckluft betrieben werden. Die Emitterspitzen werden in Richtung der Luftströmung ausgerichtet. Inline Gasionisiergerät Inline-FusION Die Abmessungen des Inline-FusION sind ähnlich der QuadBar. Die ionisierte Luft wird durch einen Schlauch weitergeleitet und verteilt, um so eine möglichst homogene Ionisierung trotz engem Bauraum zu erreichen. Bezeichnung Spezifikationen Betriebs- spannung 24 VAC oder 35 mA Entladezeit < 30 s @ 30 cm Balance < ± 50V Betriebsmodus pos./neg. gleichzeitig Emitter Silizium Strömungsgeschindigkeit Luft 0,4 - 0,5 m/s (empfohlen), druckluftunterstütztes Modell verfügbar Reinraumklasse ISO 1 (24 VDC), ISO 2 (24 VAC) Zubehör Kontrolleinheit 4030 (für max. 4 Geräte) Größe (H x B x T) 3,3 x 3,3 x 11,4 cm Gewicht 100 g TOGETHER WE CREATE SOLUTIONS Benelux • France • Germany • Great Britain • Swit ze r l a n d 18 Novx MiniPuls ESD Event Monitor Der Novx MiniPulse ESD Event Detector ist für das Monitoring von Prozessanlagen konzipiert. Durch sein platzsparendes Design kann er nahezu überall verbaut werden. Mit diesem System werden zuverlässig ESDEvents detektiert und ein Alarmsignal (Open Collector) ausgegeben, welches z. B. mit einer Facility Monitoring Software verarbeitet werden kann. Dank der Alarmfunktion ist schnelles Eingreifen gewährleistet. Spezielle Konfigurationen und Platzierung der Antenne ermöglicht die Detektion von ESD-Events – ausschließlich aus einer bestimmten Richtung. Messung elektrostatischer Auf ladung und ESD-Events Ionisatoren werden mithilfe eines Charge Plate Monitors eingemessen und auf optimale Funktion kontrolliert. Die Entladezeit von +/- 1000 V auf +/- 100 V sowie die Spannungsschwankung über 1 min werden dokumentiert. Um die geforderten Leistungsparameter zu erfüllen, müssen Ionisiergeräte bei Inbetriebnahme sowie in regelmäßigen Abständen eingemessen bzw. überprüft werden. Dieser Prozess ist Teil des PMT Service Konzepts. Sprechen Sie uns bei Interesse gerne darauf an. Bezeichnung Spezifikationen Betriebs- spannung 24 VDC, 0,075 A Emitter Tungsten Strömungsgeschindigkeit 22,6 lpm @ 5 psi - 100 lmp @ 50 psi (CDA oder N2) Reinraumklasse ISO 4 Größe (H x B x T) 6,4 x 3,8 x 11,4 cm Gewicht 136 g Bezeichnung Spezifikationen Betriebs- spannung 9 - 24 VDC, 30 mA Alarm LED, akkustischer Alarm, Open Collector Konfiguration Drehregler für Pulslänge Feldstärke 1 1000V/m, ± 20 V/m Größe (H x B x T) 5,3 x 5,0 x 1,9 cm Bezeichnung Spezifikationen Betriebs- spannung 90 - 250 VAC, 50/60 Hz, 12W oder 12V Batterie Betriebsmodus Entladezeit (± 1000V auf ± 100V); Balance: Zeitraum 1 min Größe (H x B x T) 12,7 x 27,9 x 22,9 cm

PMT Partikel-Messtechnik GmbH Schafwäsche 8 · 71296 Heimsheim Tel. +49 70 33 53 74-0 Fax +49 70 33 53 74-22 E-Mail: info@pmt.eu www.pmt.eu PMT (GB) Ltd. Willow End Park · Malvern WorcestershireWR13 6NN, UK Tel. +44 1684 312950 Fax +44 1684 312969 E-Mail: info@pmtgb.com www.pmtgb.com PMT Benelux N.V./S.A. Haachtsesteenweg 378 bus 01 1910 Kampenhout, Belgium Tel. +32 16 65 92 92 Fax +32 16 65 22 05 E-Mail: info@pmtbenelux.com www.pmtbenelux.com PMT France Immeuble Le Castillan 1 rue de la Belette 91410 DOURDAN, France Tel. +33 1 64 55 13 00 Fax +33 1 64 55 13 01 E-Mail: contact@pmtfrance.fr www.pmtfrance.fr PMT Schweiz AG Gewerbestr. 9 8132 Egg ZH Tel: + 41 44-994 7005 Fax: +41 44-994 7007 E-Mail: welcome@pmt-ag.ch www.pmt-ag.ch

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