TOGETHER WE CREATE SOLUTIONS Benelux • France • Germany • Great Britain • Switzerland SOLUTIONS HALBLEITER • CHEMIE • AUTOMOTIV
PMT HISTORIE UND KNOW-HOW 1 TOGETHER WE CREATE SOLUTIONS Benelux • France • Germany • Great Britain • Switzerland 2 Unternehmen Die PMT Partikel-Messtechnik GmbH ist seit über 35 Jahren im Bereich der partikulären und mikrobiologischen Kontaminationskontrolle aktiv. PMT als Dienstleistungs- und Handelsunternehmen ist mit rund 50 Mitarbeitern in 5 Ländern vertreten. Aufbauend auf dem traditionellen Arbeitsgebiet der Partikelzählung entwickelt PMT vielfältige Gesamtlösungen in diversen Anwendungsfeldern der Partikelmesstechnik und der mikrobiologischen Kontaminationskontrolle. Das Know-How umfaßt alle Technologien zur Messung von Partikeln und Mikroorganismen in Luft, auf Oberflächen und in flüssigen Medien sowie die Ionisation, die Reinigung und Dekontamination von sterilen Bereichen. So bietet PMT Unterstützung bei der Einbindung hochpräziser Partikelmesstechniken in Gesamtanlagen und entwickelt dabei kundenspezifische Systemlösungen. Darüber hinaus steht das Unternehmen als unterstützender Partner in der anwendungsbezogenen Kundenberatung zur Verfügung, bietet Schulungen und einen kompetenten Techniksupport an. PMT Partikel-Messtechnik GmbH Heimsheim, Deutschland PMT Benelux N.V./S.A. Kampenhout, Belgien PMT France Dourdan Frankreich PMT (GB) Ltd. Malvern Worcestershire, Groß Britannien PMT Schweiz AG Egg ZH, Schweiz Neben dem Vertrieb von Lösungen zur partikulären und mikrobiellen Kontaminationskontrolle ist die dauerhafte Betreuung aller Anwender unser wichtigstes Anliegen. Der PMT-Service bietet Ihnen: • Hohe Verfügbarkeit durch ein Netz von Servicestützpunkten in Europa • Professionelle Unterstützung durch fortlaufend geschultes Servicepersonal • ISO 9001 zertifiziert Zählen Sie auf uns – auch nach dem Kauf! Rund die Hälfte der PMT-Mitarbeiter arbeitet in unseren Servicestützpunkten und geben Ihnen genau die Unterstützung, die Sie im Produktionsalltag benötigen. Wir bieten Ihnen einen umfassenden Service und somit Sicherheit durch langjährige Erfahrung. Folgende Dienstleistungen haben wir im Portfolio: • Gerätewartung und -kalibrierung • Serviceverträge • Inbetriebnahme und Qualifizierung (IQ/OQ) für Partikel- und Keimzähler sowie Software (FMS/OPC UA) • Inbetriebnahme, Wartung und Service Ionisation Service Luftpartikelzähler • ISO-konforme Kalibrierungen (auch vor Ort) • ISO 21501-04 • ISO 17025* • UKAS Akkreditierung • Kalibrierung mittels zertifizierter Kalibrier- standards und Referenzgeräte • Qualifikationspakete parallel erhältlich • Kundenschulungen im Schulungszentrum in Heimsheim Service Flüssigkeitspartikelzähler • Kalibrierungen konform zu USP <787>, FDA 21 CFR Part 11, Ph.Eur 2.9.19. und der „Japanese Pharmacopeia“ (JP) (auch vor Ort) • Qualifikationspakete parallel erhältlich • Kundenschulungen im Schulungszentrum in Heimsheim *Modellabhängig (auf Anfrage)
Portable Luftpartikelzähler AeroTrak+® A100 Serie Die portablen AeroTrak+® Partikelzähler der A100Serie zeichnen sich dadurch aus, dass sie alle klassischen Aufgaben der Partikelzählung in Reinräumen in einem Gerät vereinen. Hierzu gehören u. a. die Klassifizierung, das Monitoring, Filterscanning sowie Druckgasmessungen. Die Partikelzähler bieten eine intuitive Benutzeroberfläche, Korrekturfaktoren für die Entnahme von Druck- gasproben und einen Filtertestmodus (akustisch, als auch visuell). Sie erfüllen alle Kriterien zur Konformität aktueller Normen, zu denen insbesondere die aktualisierte Version des EU-GMP Annex 1 gehört. Die Berichte sind konform zu ISO 14644-1, FS209E und 21 CFR Part 11. Zu den Eigenschaften gehören zusätzlich Merkmale bezüglich der Datenintegrität, wie bspw. eine NFC-Option Erweiterte Kommunikationsmöglichkeiten sind durch WLAN sowie Schnittstellen für 4-20mA Signale (Eingang und Ausgang) für Umweltsensorik und Statusmeldungen gegeben. Die Garantie auf den Laser der Streulichtmesszelle liegt bei 5 Jahren. Die Auslieferung des Partikelzählers erfolgt mit einer ISO 21501-4 konformen Werkskalibrierung und optional mit akkreditierter Kalibrierung nach ISO 17025. Handheld Partikelzähler AeroTrak® 9306 Der AeroTrak® 9306 ist ein Handheld mit flexiblen Einsatzmöglichkeiten. Er verfügt über alle Leistungsmerkmale der Schwestermodelle der 9000er Serie. Der Durchfluß beträgt bei diesem Modell 0,1 cfm (2,83 l/min). Über den 9,1 cm großen farbigen Touchscreen lässt sich das Gerät einfach konfigurieren und bedienen. Dieses Modell ist in der Lage, Berichte (bestanden und nicht bestanden) für ISO 14644-1, EU GMP-Richt- linien, Anhang 1 und FS209E zu erstellen. Messdaten können auf dem Bildschirm angezeigt und direkt an einen externen Drucker übermittelt werden. Mittels der standardmäßig mitgelieferten DatenDownload und Reporting Software TrakProTM Lite Secure können mehrere Partikelzählerkonfigurationen bequem gespeichert und bei Bedarf hochgeladen werden. Das AeroTrak® 9306 Modell entspricht den strengen, in der Norm ISO 21501-4 festgelegten, Richtlinien. PARTIKELZÄHLUNG IN LUFT 3 Modell Durchflußmenge Partikelgrößen- kanäle AeroTrak® 9306-03 2,83 l/min 0.3, 0.5, 0.7, 1.0, 2.0, 5.0 μm AeroTrak® 9306-04 2,83 l/min 0.3, 0.5, 1.0, 3.0, 5.0, 10.0 μm AeroTrak® 9306-V2 2,83 l/min 0.3, 0.5, 1.0, 3.0, 5.0, 10.0 μm TOGETHER WE CREATE SOLUTIONS Benelux • France • Germany • Great Britain • Switzerland 4 Remote Partikelzähler AeroTrak® 7110 Der AeroTrak® 7110 Partikelzähler gewährleistet präzise Messungen von Partikeln ab 0.1 µm. Das Gerät wurde für die Reinraumüberwachung, Prozessinstrumentenüberwachung und Filtertestanwendungen konzipiert. Der Betrieb des Partikelzählers erfolgt mit einer externen Vakuumversorgung. Zwecks sicherer Datenerfassung und -analyse lassen sich die Daten der Partikelzählung einfach und fortlaufend an ein Anlagenüberwachungssystem übermitteln. Der AeroTrak® 7110 von TSI erfüllt die Richtlinien der ISO 21501-4. • Messung von Partikeln ab 0.1 µm • ISO 21501-4 konform • Hohe Wiederholgenauigkeit und Zuverlässigkeit der Messungen und Daten • Speicherung von 2.000 Proben (Datenredundanz) • Einfache Ankopplung an Anlagenüberwachungssysteme • Edelstahlgehäuse • Anwendung mit externer Vakuumpumpe Remote Partikelzähler AeroTrak® 6000er Serie Die AeroTrak® Remote-Partikelzähler mit integrierter Pumpe sind eigenständige Überwachungssysteme, welche in einem kompakten und leicht zu reinigenden 316L-Edelstahlgehäuse eingebaut sind. Durch die integrierte Pumpe entfällt die Notwendigkeit für eine externe Vakuumquelle. An die Geräte können zusätzlich Umweltsensoren (24 VDC Versorgungsspannung, 4-20 mA Signal) angeschlossen werden. • ISO 21501-4 konform • Notwendigkeit für ein zentrales Vakuumsystem entfällt • Internes Gebläse mit Trennschieber und geringer Wärmentwicklung • 4 standardmäßige 4-20mA-Analogeingänge senken Integrationsaufwand und Installationskosten für den Umgebungssensor • 316L-Edelstahlgehäuse, Probensonde und Verschluss aus Edelstahl • Ethernet (TCP/IP), serielle Modbus-RTU-Kommunikation und vier 20mA-Analogdatenausgänge Modell Durchflußmenge Partikelgrößen- kanäle AeroTrak® 7110 28,3 l/min 0.1, 0.15, 0.2, 0.25, 0.3, 0.5,0, 1.0,5.0 μm Modell Durchflußmenge Partikelgrößen- kanäle AeroTrak® 6310 28,3 l/min 0.3, 0.5, 0.7, 1.0 μm AeroTrak® 6310-05 28,3 l/min 0.3, 0.5, 1.0, 5.0 μm AeroTrak+® 6510 und 6510-VHP 28,3 l/min 0.5, 0.7, 1.0, 5.0 μm Modell Durchflußmenge Partikelgrößen- kanäle AeroTrak+® 100-31 28,3 l/min 0.3 bis 10.0 μm – Kanäle frei wählbar AeroTrak+® 100-35 50 l/min 0.3 bis 10.0 μm – Kanäle frei wählbar AeroTrak+® 100-51 28,3 l/min 0.5 bis 10.0 μm – Kanäle frei wählbar AeroTrak+® 100-55 50 l/min 0.5 bis 10.0 μm – Kanäle frei wählbar AeroTrak+® 100-50 100 l/min 0.5 bis 10.0 μm – Kanäle frei wählbar
Portabler hochempfindlicher Luftpartikelzähler AeroTrak® 9110 Der AeroTrak® 9110 ist ein mobiler Partikelzähler mit einem Messbereich ab 0.1 µm und erfüllt alle Vorgaben der ISO 21501-4. Das Messgerät arbeitet mit einem Durchfluss von 1 cfm. Die acht Partikelgrößenkanäle starten bei 0.1 µm und enden bei ≥ 5 µm. Reinraumsensoren für Temperatur, Luftfeuchte und Luftgeschwindigkeit können in die Partikelmessung integriert werden. Diese Reinraumdaten werden gleichberechtigt mit den Partikelzahlen verwaltet. • 4 Jahre Garantie auf die Lasereinheit • ISO 21501-4 konform • Speicher für 10.000 Messungen • Akustischer Alarm • Erlaubt Speicherung und Abruf von spezifischen Tests/Daten • Anzeige von bis zu drei Umweltparameter • Edelstahlgehäuse • Eigenständige Anwendung oder Integration in Anlagenüberwachungssysteme • Reinraumklassifizierung bis ISO-Klasse 1 • Ermöglicht Messung von Prozessgasen durch Kombination mit Hochdruckdiffusor Nanopartikelzähler AeroTrak® 9001 CPC Der Luftpartikelzähler AeroTrak® 9001 CPC (Cleanroom Condensation Particle Counter) ist ein auf Wasser basierender Kondensationskernzähler für das Nanopartikelmonitoring kritischer Prozessumgebungen. Die patentierten Technologien ermöglichen Nanopartikel-Detektion und -Zählung ab 10 nm bei einem Durchsatz von 2,83 l/min (0,1 cfm). Der Kondensationskernzähler AeroTrak® 9001 CPC eignet sich besonders für den Einsatz in Reinraum-Umgebungen der ISO Klasse 1 und 2. DieVersorgung mit Reinstwasser kann per Direktanschluss im Reinraum erfolgen. Auf das Einbringen kritischer Chemikalien zur Versorgung kann gänzlich verzichtet werden. • kompaktes Design • Portabel oder stationär einsetzbar • Einfache und benutzerfreundliche Bedienung per Touchscreen • Verschiedene Schnittstellen und Protokolle (USB- Flash/Standard; Ethernet, ModBus) • Kompatibilität mit FMS-Monitoring Software • Betrieb mit Reinstwasser PARTIKELZÄHLUNG IN LUFT – REINRAUMMONITORING 5 Modell Durchflußmenge Partikelgrößen- kanäle AeroTrak® 9110 28,3 l/min 0.1, 0.15, 0.2, 0.25, 0.3, 0.5,0, 1.0, 5.0 μm TOGETHER WE CREATE SOLUTIONS Benelux • France • Germany • Great Britain • Switzerland 6 Remote Partikelzähler mit Pumpe AeroTrak®+ 6000er Serie AeroTrak®+ Remote Partikelzähler mit integrierter Pumpe sind ideal für die Installation an Orten, an denen kein externesVakuumsystem vorhanden ist. Mit einer internen Pumpe und einer drahtlosen Kommunikationstechnologie mit großer Reichweite, reduzieren sie die Komplexität und Kosten der Installation in Einrichtungen mit begrenzter Infrastruktur. Es ist einfach, diese räumlich neu zu positionieren, wenn sich Fertigungspläne ändern. • 5 Jahre Laser-Garantie • ISO 21501-4 konform • Interner Speicher für 250.000 Datensätze • Einfache Integration in die TSI FMS Software • Anbindung an externe SCADA via OPC UA möglich • Einfache Integration in Fremdsysteme mit 4-20 mA analogem Datenausgang (modellabhängig) • Integrierte Pumpe Remote Partikelzähler AeroTrak®+ 7000er Serie AeroTrak®+ Remote Partikelzähler bieten Zuverlässigkeit und problemlosen Betrieb bei der Messung eines breiten Spektrums von Partikelgrößen. Durch die platzsparende Bauart können die Geräte nahezu überall installiert werden. • 5 Jahre Laser-Garantie • ISO 21501-4 konform • Einfache Integration in die TSI FMS Software • Anbindung an externe SCADA via OPC UA möglich • Einfache Integration in Fremdsysteme mit 4-20 mA analogem Datenausgang (modellabhängig) • Modell 7510 ermöglicht 21 CFR Part 11 Datenerfassung mit FMS Software, erfüllt die aseptischen Verarbeitungsrichtlinien der EU und der USA FDA mit 1 CFM (28,3 l/min) Durchfluss, 0.5 µm und 5 µm Kanalgrößenoptionen / VHP-beständige Modelloption Modell Durchflußmenge Partikelgrößen- kanäle AeroTrak+® 6201 2,83 l/min 0.2, 0.3 μm 0.2, 0.3, 0.5, 1.0 μm AeroTrak+® 6301 2,83 l/min 0.3, 0.5, 1.0, 5.0 μm 0.3, 0.5, 5.0, 10.0 μm 0.3, 0.5, 1.0, 5.0, 10.0, 25.0 μm AeroTrak+® 6501 2,83 l/min 0.5, 1.0, 5.0, 10.0 μm 0.5, 5.0, 10.0, 25.0 μm 0.5, 1.0, 5.0, 10.0, 25.0 μm Modell Durchflußmenge Partikelgrößen- kanäle AeroTrak+® 7201 2,83 l/min 0.2, 0.3 μm 0.2, 0.3, 0.5, 1.0 μm AeroTrak+® 7301 2,83 l/min 0.3, 0.5 μm 0.3, 0.5, 1.0, 5.0 μm 0.3, 0.5, 5.0, 10.0 μm 0.3, 0.5, 1.0, 5.0, 10.0, 25.0 μm AeroTrak+® 7310 28,3 l/min 0.3, 0.5 μm 0.3, 0.5, 1.0, 5.0 μm 0.3, 0.5, 5.0, 10.0 μm AeroTrak+® 7501 2,83 l/min 0.5, 5.0 µm 0.5, 1.0, 5.0, 10.0 µm 0.5, 5.0, 10.0, 25.0 µm 0.5, 1.0, 5.0, 10.0, 25.0 µm AeroTrak+® 7510 28,3l/min 0.5, 5.0 μm 0.5, 1.0, 5.0, 10.0 μm 0.5, 5.0, 10.0, 25.0 μm Wireless Funktion Für die AeroTrak®+ Remote Partikelzähler der 6000er und 7000er Serie ist die Wireless Funktion verfügbar. Das Wi-Fi Node (TSI P/N 700500) kann einfach und schnell über eine 6-polige Steckverbindung an der Geräteunterseite angeschlossen werden. Modell Durchflußmenge Partikelgrößen- kanäle AeroTrak® 9001 2,83 l/min > 10.0 nm
REINRAUMMONITORING 7 TOGETHER WE CREATE SOLUTIONS Benelux • France • Germany • Great Britain • Switzerland 8 Monitoring LAN FMS Client FMS SQL Data Server Alarmeinheit Umweltsensoren FMS – Facility Monitoring Software Für die Kontaminationskontrolle in kritischen Prozessumgebungen wie beispielsweise Reinräumen, Isolatoren und RABS, bietet sich die Verwendung mehrerer stationärer Partikelzähler bzw. Keimsammler an. Die Ausgabe der Messdaten erfolgt dabei über eine zentrale Facility Monitoring Software (FMS). Durch die kontinuierliche Überwachung kritischer Prozessparameter können zum einen Trends beobachtet werden und zum anderen kann man direkt auf Überschreitungen von vorher definierten Alarmgrenzen reagieren. Durch das direkte Eingreifen bei einem Alarm kann eine schnelle Intervention erfolgen, was zur Reduzierung von Ausschussprodukten und somit von Kosten führt. Das Monitoringsystem besteht standardmäßig aus drei separaten Komponenten. Der Monitor sammelt die aufgezeichneten Daten, welche parallel dazu auf dem Client-PC abgerufen werden. Die Speicherung der Daten erfolgt auf einem Server in einer SQL-Datenbank.Als vierte Komponente erlaubt ein OPC UA Server die bidirektionale Kommunikation zu anderen Systemen. Zusätzlich dazu besteht die Möglichkeit einer Spiegelung von Monitor und Datenbank, um bei einem möglichen Ausfall einer Komponente die fortlaufende Datensicherung zu gewährleisten. Durch den modularen Aufbau ist FMS auch offen für Umweltsensoren und Alarmeinheiten TCP/ IP- Ethernetprotokolle, Power over Ethernet-Anbindung, Modbus-Protokolle, OPC Anbindung, 4-20 mA Analogschnittstellen. • Einbindung aller TSI Luftpartikel- und Luftkeimzähler sowie AeroTrak® 9001 CPC • Zusätzliches Monitoring von bspw.Temperatur, Differenzdruck, Luftfeuchte und Alarmzuständen • Benutzerfreundliche Oberfläche • Einbindung von Gebäudegrundrissen möglich • Erstellen von Diagrammen und individuellen Reports • 21 CFR Part 11 konform OPC UA Server FMS Monitor OPC UA
PARTIKELMESSUNG AUF OBERFLÄCHEN TOGETHER WE CREATE SOLUTIONS Benelux • France • Germany • Great Britain • Switzerland 10 PPartikelmessung auf Oberflächen PartSens 4.0 und PartSens+ 4.0 Der PartSens 4.0 ist ein tragbares Messsystem mit drahtlosem Messkopf zur direkten Messung von Partikeln auf Oberflächen. Das Messergebnis wird einschließlich der aufgenommenen Bilder in Echtzeit per WLAN übermittelt und auf dem Bildschirm dargestellt. Das Model PartSens+ 4.0 bietet zusätzliche Möglichkeiten zur Unterscheidung von metallischen und nicht metallischen Partikeln und Fasern auf Oberflächen. Mobiles Design und einfachste Bedienung machen dieses Messgerät zur perfekten Lösung für Unternehmen, die saubere Oberflächen von Produkten oder einer Produktionsumgebung sicherstellen müssen. Durch dieVerwendung der Streiflichttechnologie werden reproduzierbare und hochgenaue Messergebnisse erzeugt. Komplexe, mehrstufige Analysemethoden (Bauteilspülung, gefolgt von Filtration mit anschließender Filteranalyse) entfallen. Zur Archivierung oder für spätere Vergleichsmessungen erfolgt die Datenspeicherung im Partikelzähler. Optional kann das Messergebnis über einen externen Drucker ausgegeben werden. Das Live-Bild ermöglicht die Erkennung von Strukturen sowie Partikeln und unterstützt dadurch eine optimale Positionierung des Messkopfs. Das System kann auf unterschiedlichsten Oberflächenmaterialien, wie z. B. Edelstahl, Silizium, Glas und Kunststoff eingesetzt werden. • Tragbarer Oberflächen-Partikelzähler mit drahtlosem Messkopf • Messprinzip: Streiflicht (vergl.VDA 19.2) • Größenbereich: > 5 µm bis > 3000 µm • Partikelauswertung PartSens+ 4.0: • Größe und Anzahl • nicht-metallische Partikel, metallisch glänzende Partikel und Fasern • Partikelgrößenzuordnung nach VDA 19.1 respektive ISO 16232 und 14644-9 möglich • Ausgabe des Illig-Werts • Messfläche: 2,68 cm2 (19,36 mm x 13,82 mm) • Messdauer < 10 Sekunden • Einzel- und Serienmessung • Datenausgabe als .csv auf dem 12,1” TFT Touchscreen-Bildschirm • Daten-Speichervolumen: 300 Messungen • 2 USB-Typ-A-Schnittstellen zur Datensicherung, Anschluss von Maus und Tastatur • HDMI-Schnittstelle zum Anschluss eines externen Monitors • Ethernet-Schnittstelle für autm. Datenexport TapeLift Pads Die speziell für den PartSens 4.0 Oberflächen-Partikelzähler entwickelten TapeLift Pads eignen sich bestens für die produktionsnahe Überwachung der Bauteilsauberkeit nach ISO 16232 und dem VDA Band 19. Mit Hilfe der TapeLift Pads können unterschiedliche Oberflächen abgeklatscht und anschließend mit dem PartSens 4.0 Oberflächen-Partikelzähler analysiert werden. Das flexible TapeLift Pad besteht aus einem hydrokolloiden und gelartigen Material. Schmutzpartikel können von geraden oder auch gekrümmten Oberflächen effizient aufgenommen und auf dem TapeLift Pad fixiert werden. Die Analyse und Auswertung erfolgt, mit dem mobilen PartSens 4.0 Oberflächen-Partikelzähler, zeitnah und direkt vor Ort. Das aufwendigeVerschließen,Verpacken und Versenden der TapeLift Pads an ein Prüflabor entfällt und somit auch die Gefahr möglicher Querkontaminationen. Innerhalb kürzester Zeit (<10 Sekunden) wird die Anzahl und die Größe der Partikel ausgegeben. • Hydrokolloid und gelartige TapeLift Pads • Abmessung/Auflagefläche: Ø 36 mm • Kosten- und Zeitersparnis • Vor-Ort-Auswertung • Verpackungseinheit: 20 Stück TapeLift Pads Partikelfalle Die Partikelfalle ist eine schnelle Möglichkeit der Analyse und Auswertung sedimentierter Partikel in Verbindung mit der speziell entwickelten Messvorrichtung und dem PartSens 4.0 Oberflächen-Partikelzähler. Die im VDA Band 19 respektive ISO 16232 und ISO 14644 -9 genannten Prüfverfahren zur Bestimmung von partikulärer Kontamination in der Fertigungsumgebung können schnell und kostengünstig mit Hilfe dieser Partikelfalle bestimmt werden. Sie werden in einem bestimmten Bereich ausgelegt und nach einer vordefinierten Zeit wieder eingesammelt. Die auf der Partikelfalle sedimentierten und fixierten Partikel werden im Anschluss mit Hilfe der Messvorrichtung und dem PartSens 4.0 OberflächenPartikelzähler analysiert. Eine schnelle und sofort verfügbare Auswertung, keine falsch Positiven bezüglich Querkontamination sowie hohe Kosteneinsparungen sind die Vorzüge dieser Partikelfalle. Die Analyse erfolgt unmittelbar nach dem Einsammeln. Das zeitaufwendige Verschließen, Verpacken und Versenden der Partikelfallen an ein Prüflabor entfällt und somit auch die Gefahr möglicher Querkontaminationen. • Hydrokolloid und gelartige Partikelfalle • Auswertung mit Messvorrichtung und PartSens 4.0 Oberflächen-Partikelzähler • VDA Band 19 resprektive ISO 16232 und ISO 14644 -9 konforme Messmethode • Kosten- und Zeitersparnis • Vor-Ort-Auswertung • Verpackungseinheit: 5 Stück Bezeichnung Spezifikationen Kanalgrößeneinteilung VDA 19.1 ISO 16232, ISO 14644-9 Kundenspezifisch Einteilungen möglich Metallische Partikel > 25 μm bis > 3000 μm Nicht-metallische Partikel > 5 μm bis > 3000 μm Fasern > 50 μm bis > 3000 μm
PARTIKELMESSUNG IN FLÜSSIGKEITEN KS-19F Das KS-19F misst Partikel ab 30 nm. Die KS-Modelle eignen sich für hochsensitive Anwendungen und zeichnen sich durch eine sehr niedrige Nullzählrate aus. TOGETHER WE CREATE SOLUTIONS Benelux • France • Germany • Great Britain • Switzerland 12 KL-30 – Partikelzählung in Reinstwasser Die Geräte der KL-30 Serie sind ausschließlich zur Messung von Partikeln in Reinstwasser geeignet. Ein Flow-Controller ist bereits im Gerät integriert, ebenso wie ein Drucker zum schnellen Ausdruck der Ergebnisse ohne Umwege über eine Software.Weiterhin informieren Status-LEDs über einen Alarm bei Überschreiten der Koinzidenzgrenze oder bei schwachem Laser. Dies gewährleistet valide Messergebnisse. Modell Messbereich Zähleffizienz Probenflussrate Koinzidenzgrenze KS-19F > 0.03 µm – > 0.13 µm 5 % ± 1,5 % 10 ml/min 40.000 part./ml (10 %) Modell Messbereich Zähleffizienz Probenflussrate Koinzidenzgrenze KS-42A KS-42AF > 0.1 µm – > 0.5 µm 70 % ± 15 % (KS-42AF: 60 % ± 15 %) * 10 ml/min 1.200 part./ml (5 % Verlust) KS-42B KS-42BF > 0.2 µm – > 2 µm 70 % bis 110 % * 10 ml/min 1.200 part./ml (5 % Verlust) KS-42C > 0.5 µm – > 20 µm 70 % bis 110 % * 10 ml/min 1.200 part./ml (5 % Verlust) KS-42D > 2 µm – > 100 µm 100 % ± 20 % * 25 ml/min 10.000 part./ml (10 % Verlust) Modell Messbereich Zähleffizienz Probenflussrate Koinzidenzgrenze KL-30A ≥ 0.05 µm – ≥ 0.2 µm 10 % ± 3 % 20 ml/min; eff.: 2 ± 0,6 ml/min 15.000 part./ml (10 %) KL-30B ≥ 0.05 µm – ≥ 0.2 µm 1 % ± 3 % 10 ml/min; eff.: 1 ± 0,03 ml/min 15.000 part./ml (10 %) Modell Messbereich Zähleffizienz Probenflussrate Koinzidenzgrenze KS-41A > 0.15 µm – > 0.5 µm 50 % ± 10 % * 10 ml/min 10 ml/min 1.200 part./ml (5 % Verlust) KS-41B > 0.1 µm – > 0.5 µm 50 % ± 10 % * 5 ml/min 9.600 part./ml (10 % Verlust) * Die geräteindividuelle Zähleffizienz wird bei der Kalibrierung im Servicereport ausgewiesen. Partikelzählung in Chemikalien und Wasser RION KL-30, KS-19F, KS-42 und KS-41 Serien Zur Messung von Partikeln in Chemikalien und Wasser bietet RION ein breites Produktportfolio von Flüssig- partikelzählern an. Mit der Modellreihe KL-30 werden Partikel in Reinstwasser gemessen. Die Modellreihe KS-42 ermöglicht zusätzlich die Partikelmessung in bestimmten Säuren und Basen. Alle „F“-Modelle, wie zum Beispiel das KS-42AF und das KF-19F, sind mit einer Saphirglas-Messzelle ausgestattet und erlauben die Partikelmessungen in HF. Die Modellreihe KS-41 ist speziell für die Partikelmessung in Lösungen, wie beispielsweise Photolacken konzipiert. Das empfindlichste Modell in der Reihe ist das KS-19F – mit einen Messbereich von 0.03 μm bis 0.13 μm. Alle Geräte der KS-Serien bilden zusammen ein flexibles, modulares System. • Einstellung von bis zu 10 Partikelgrößenkanälen • Optische und akustische Leckage-Warnung • Optische Warnung bei defektem Laser • Kommunikationsschnittstelle PC (CSV-Format) • Datenspeicherung auf CF-Card (TSV-Format) • Datenausdruck über integrierten Drucker • Batch-Betrieb oder Inline/Byline-Betrieb möglich KS-41 Die Geräte der Serie KS-41 wurden speziell für die Partikelmessung in Lösungen entwickelt. Hierzu zählen Photolacke, Antireflexbeschichtungen und andere polymere Lösungen. KS-42 Für einen Messbereich > 0.1 µm bis > 100 µm finden die Modelle der Serie KS-42 Anwendung. Alle F-Modelle sind mit einer Saphirglas-Messzelle ausgestattet und dadurch HF-beständig.
IONISATION TOGETHER WE CREATE SOLUTIONS Benelux • France • Germany • Great Britain • Switzerland 14 Deckenemittersystem Zur Ionisation ganzer Reinräume werden Deckenemitter verwendet. Diese werden an der Decke neben oder direkt unter den FFUs (filter fan unit) installiert. Das Entstehen elektrostatischer Aufladungen im gesamten Raum wird durch die permanente, großflächige Ionisierung unterbunden. Simco-Ion bietet hier das Modell 5515 an. Es handelt sich um ein voll digitales System. Eine Überwachung der Emitter ist daher über die Software IonManager Pro oder auch über eine Prozessleitsystem möglich. • Reduziert effektiv die Gefahr von ESD Schäden • Reduziert die Partikelbelastung im Reinraum • Verbessert Produkthandling • Wartungsarmes, langlebiges System • Längen Emitterstäbe: 6 cm – 168 cm Modell 5515 AeroBars AeroBars kommen zur Ionisation größerer Arbeitsbereiche und bei der Prozesstool-Ionisation zum Einsatz. Es gibt verschiedene Modelle in unterschiedlichsten Längen und Konfigurationen.Alle AeroBars benötigen eine laminare Luftströmung. • Große Flexibilität bei Einsatzbereichen • Bis ISO 14644-1 Klasse 1 geeignet • Emitterspitzen aus Titan,Wolfram und Silizium • Tool-Integration möglich • Druckluftunterstütztes Modell verfügbar • Schützt effektiv vor elektrostatischer Aufladung und ESD-Schäden • Verbessert Produkthandling Stand-Alone AeroBar 5225S Die AeroBar 5225S ist die perfekte Lösung für einzelne Arbeitsbereiche und Flow-Boxen. Ein geringer Installationsaufwand zeichnet diese Modellserie aus. Modelle für die Integration in Anlagen und Maschinen Zur Ionisation mehrerer Arbeitsflächen stellt die AeroBar 5225 eine Alternative zu Deckenemittern dar. Üblicherweise wird sie aber in Anlagen der Medizintechnik,Automobil- und Halbleiterindustrie verbaut. Typische Entladezeiten liegen zwischen 15 und 25 Sekunden. Kürzere Entladezeiten können druckluftunterstützte Modelle wie die Modulated Pulse AeroBar 5635 erreicht werden. AeroBar 5225 Modulated Pulse AeroBar Die Modulated Pulse AeroBar 5635 bietet verschiedene Möglichkeiten der Integration in Prozesstools. Sie ist in vielen verschiedenen Längen verfügbar. Dadurch ist dieses Modell sehr flexibel einsetzbar. Druckluftunterstützung ermöglicht sehr kurze Entlandezeiten. Die besondere Technologie (Modulated Pulse) ermöglicht dabei die Einhaltung geringer Spannungsschwankungen (Balance < ± 20 V). Weiterhin werden bei der Ionisation keine Partikel erzeugt, sodass dieses Modell sogar die strengen Anforderungen der ISO 14644-12 erfüllt. Die Modulated Pulse Aerobar 5635 zum Gerät der Wahl für State-of-the-Art Maschinen der Halbleiterindustrie. AeroBar 5635/5635M Bezeichnung Spezifikationen Betriebsmodi Pulsed DC, steady-state DC oder Stand-by Emitter Einkrisallines Silizium,Titan Länge Emitterstäbe 6,4 cm,12,7 cm, 25,3 cm, 38,1 cm, 61,0 cm, 91,4 cm, 152,4 cm,167,6 cm Reinraumklasse Silizium: ISO 14644 Klasse 1 Titan: ISO 14644 Klasse 3 Alarm LED, akustisch, Software Zubehör Kontrolleinheit 5522/5582, Infrarot Fern- bedienung 5572, Handheld Terminal 5571 Bezeichnung Spezifikationen Einstellbare Parameter On/Off-Time, Pause, Power (%) Betriebsmodi Pulsed DC, steady state, Stand-by Alarm LED, open Collector Emitter Silizium, Titan Reinraumklasse ISO 14644-1 Klasse 1 Abmessungen 53 x 30,5 x 569|721|907|1128|1412| 1636|1918|2144 cm Zubehör Netzteil 33-1432-01 Infrarot Fernbedienung 5570 Bezeichnung Spezifikationen Balance < 50 V Anschluss RJ-11 Einstellbare Parameter On/Off-Time, Power [%] Betriebsmodi Pulsed DC, steady state DC, standby Alarm LED, Software GUI Emitter Silizium Druckluftunterstützung – Reinraumklasse ISO 14644-1 Klasse 1 Abmessungen 53 x 30,5 x 569|721|907|1128|1412| 1636|1918|2144 mm Zubehör GUI IonMonitor, Interface Modul 91-5200-IM6T-V4.0, Netzteil 33-5200 Bezeichnung Spezifikationen Balance < ± 20 V Anschluss RJ-45 Einstellbare Parameter Spannung, Balance, Frequenz Frequenz 1-33 Hz Alarm LED, Software Emitter Silizium Druckluftunterstützung CDA oder N2 Parameter Druckluft max. 45 psi; 1-3,5 lpm/Düse Reinraumklasse ISO 14644-1 Klasse 1, ISO 14644-12 Abmessungen 78 x 34 x 500|600|850|1000|1150| 1300|1450|1600|1750|1900|2050| 2200|2350 mm
IONISATION TOGETHER WE CREATE SOLUTIONS Benelux • France • Germany • Great Britain • Switzerland 16 Overhead Blower Zur Ionisation strömungsarmer Arbeitsbereiche eignen sich Overheadblower. Diese werden in einem Abstand von ca. 80 bis 150 cm über Förderbändern und über Arbeitsplätzen installiert. Das Handling kleiner, leichter Plastikbauteile kann so erheblich verbessert und die Anziehung von Partikeln minimiert werden. • Einfache Installation • Sekundenschnelle Entladung • Zugelassen bis ISO 14644-1 Klasse 4 • Luftstrom regelbar • Verbessert Produkthandling • Reduziert Partikelbelastung • Stand-Alone und Daisy Chaining möglich • Sehr wartungsarm durch automatische Emitterspitzenreinigung Modellbeispiel: Modell 5810i Benchtop Blower Mit handlichen Tischgeräten lassen sich gezielt kleinere Bereiche ionisieren. Ein Benchtop Blower ist die ideale Ergänzung für einen ESD-Arbeitsplatz, an dem punktuell ionisiert werden soll. Bei den meisten Geräten kann die Lüftergeschwindigkeit eingestellt werden. Einige Geräte haben zusätzlich eine integrierte Heizfunktion, um kalten Händen und Zugerscheinungen entgegenzuwirken. Das Sondermodell 5802i ist für einen Einsatz in Reinräumen bis zur ISO 14644-1 Klasse 4 geeignet. • Einfachste Handhabung • Sekundenschnelle Entladung • Luftstrom regelbar • Teilweise integrierte Heizfunktion • Maximale Flexibilität beim Gebrauch • Sehr wartungsarm Modellbeispiel: Aerostat PC2 Bezeichnung Spezifikationen Emitter Titan Heizung – Balance ≤ ±3 V (≤ ±1 V mit Feedback System) Reinraumklasse ISO 14644-1 Klasse 4 Einstellbare Parameter Lüftergeschwindigkeit (schnell/langsam) Abmessungen (H x B x L) 9,6 x 15,5 x 81,3 | 101,6 | 111,8 cm Modelle für den Anlagenbau Für die Integration in Prozesstools eignen sich, dank ihrer kompakten Abmessungen, Point of Use Ionisationsgeräte. Exemplarisch ist hier das Modelle QuadBar und das Inline-FusION genannt. QuadBar Das Modell QuadBar kann sowohl mit als auch ohne Druckluft betrieben werden. Die Emitterspitzen werden in Richtung der Luftströmung ausgerichtet. Ionisationspistolen Für punktgenaue, sekundenschnelle Ionisation eignen sich am besten Ionisationspistolen, wie die TopGun 111 oder das Modell 6115. Innerhalb weniger Sekunden werden Oberflächen und Bauteile elektrostatisch entladen und anhaftende Partikel entfernt. Die Handhabung von Kunststoffteilen und Folien wird erleichtert und die technische Sauberkeit nachweislich verbessert. • Sekundenschnelle Entladung • Entfernen von Partikeln • Handliche, flexible Ionisationslösung • Modellabhängig Betrieb im Reinraum möglich • Betrieb per Hand, Fußpedal oder optischem Sensor Modellbeispiel: 6115 und TopGun III Bezeichnung Spezifikationen Air flow 129 cfm Heizung ✓ Reinraumklasse – Einstellbare Parameter Ein/Aus-Schalter und Lüftergeschwindigkeit Größe (H x B x T) 23,1 x 17,3 x 8,4 cm Gewicht 1,25 kg Bezeichnung Modell 6115 TopGun III Emitter Wolfram Stahl Druckluft 20-65 psi CDA oder N2 100 psi max. CDA oder N2 Gasanschluss 1/4" Schnellkupplung (männlich) 1/4“ NPT (weiblich) Schallpegel 70 dBA @ 1 m, 30 psi 76/89/97 dBA @ 30/60/100 psi @ 60 cm Reinraumklasse ISO 4 – Partikelfilter 0.01 µm 0.01 µm Gewicht 341 g, console: 326 g 185 g Bezeichnung Spezifikationen Betriebs- spannung 24 VAC oder 35 mA Entladezeit < 30 s @ 30 cm Balance < ± 50 V Betriebsmodus pos./neg. gleichzeitig Emitter Silizium Strömungsgeschindigkeit Luft 0,4 - 0,5 m/s (empfohlen), druckluftunterstütztes Modell verfügbar Reinraumklasse ISO 1 (24 VDC), ISO 2 (24 VAC) Zubehör Kontrolleinheit 4030 (für max. 4 Geräte) Größe (H x B x T) 3,3 x 3,3 x 11,4 cm Gewicht 100 g
IONISATION Modelle für den Anlagenbau High Performance Blower 5832 und 5842 Das Tischgebläse 5832 sowie der Overhead-blower 5842 sind die Speerspitze der Ionisation. In Kombination mit dem aktiven Regelsystem NOVX sind Entladezeiten (1000V – 100V) von unter 2s und eine Offset-Spannung von dauerhaft < ±1V möglich, um auch die empfindlichsten Bauteile und Strukturen vor ESD-Schäden zu schützen. Ermöglicht wird dies durch die 1,75“ x 1“ kleine Antenne, die in Strömungsrichtung nahe dem zu entladenden Bereich installiert wird. Sie misst permanent die Feldstärke und gibt den Wert als Regelgröße direkt an den Blower oder an das NOVX-System weiter. High Performance Ionisationsleiste AeroBar 5645 mit Feedback Control Die AeroBar 5645 ist die Nachfolgegeneration der AeroBar 5635 und wartet mit neuen, verbesserten Eigenschaften auf. Erhältlich in drei verschiedenen Konfigurationen (Stand Alone, NOVX inside und NOVX System), wird sie allen Bedürfnissen und Anforderungen gerecht. Offset-Spannungen von < ±5V sind jetzt dauerhaft möglich und können kontrolliert und dokumentiert werden. Eine 100%ige Prozesskontrolle ist möglich. Als Steuereinheit wird eine kleine Antenne benötigt, welche direkt mit der AeroBar oder dem NOVX-System verbunden wird. NOVX erlaubt zusätzlich zur aktiven Regelung die sekundengenaue Dokumentation der Spannung bzw. der Feldstärke am Installationsort der Antenne und die Detektion von ESD-Events. Wie auch die AeroBar 5635 kann die AeroBar 5645 an CDA und N2 angeschlossen werden, um Entladezeiten zu verkürzen. TOGETHER WE CREATE SOLUTIONS Benelux • France • Germany • Great Britain • Switzerland 18 Datenlogging- und Steuerungssystem NOVX NOVX bietet die Möglichkeit, gleichzeitig an bis zu 3 Orten elektrostatische Ladung zu messen, den Wert aufzuzeichnen und in einer csv-Datei zu speichern. Es können bis zu 3 ESD-Antennen angeschlossen werden, um ESD-Ereignisse zu detektieren und ein Alarmsignal für eine FMS zu generieren. Das NOVXSystem wird außerdem als Closed-Loop-System für einige Ionisatoren benötigt. Die Modelle 5832, 5842 und 5645 besitzen eine Kommunikationsschnittstelle. Der Regelkreis Antenne-NOVX-Ionisator passt blitzschnell die Anzahl positiver und negativer Ionen im Ionisator an. Elektrostatische Aufladungen werden sofort abgebaut. Mit den genannten Funktionen und Kombinationsmöglichkeiten ist NOVX das ideale Prozessüberwachsungssystem für Anlagen der Halbleiterproduktion, in denen ESDS bearbeitet und transportiert werden. Das aktive Modell 3362 kann zudem die angeschlossenen Antennen auf Befehl hin aufladen und deren Entladezeit messen. Die Werte sind eins zu eins vergleichbar mit den Ergebnissen des CPM konform DIN EN 61340-4. Feldmeter SIMCO bietet mit den Modellen 775 bzw. 775PVS und FMX004 handliche Feldmeter zum schnellen Detektieren und Messen elektrostatischer Ladungen an. Das Modell 775 kann um eine kleine Kondensatorplatte erweitert werden und dient somit als kleiner CPM. Beide Modelle besitzen einen analogen Ausgang zur Anbindung an eine SPS. Der korrekte Abstand für eine Messung wird optisch durch Überlagerung zweier Kreise gezeigt. Im korrekten Abstand ergeben sich zwei konzentrische Kreise. Als universell nutzbares Messgerät ist ein Feldmeter ein unverzichtbarer Bestandteil des Werkzeugkoffers eines jeden ESD-Koordinators. Bezeichnung Spezifikationen Stromversorgung 24VDC ±10 %, 0,7A (max) Balance < ±20V (Stand Alone); < ±5V (NOVX) Entladezeit (typ.) 15s @ 60cm Frequenz 0,3 – 60 Hz Emitter Silizium (einkristalin),Titan Druckluft CDA, N2 / max. 3,1bar; 1-3,5lpm/Düse Reinraumklasse ISO 14644 Klasse 1; ISO 14644-12 Abmessungen 78 x 34 x 350 / 450 / 600 / 850 / 1000 / 1150 / 1300 / 1450 / 1600 / 1750 / 1900 / 2050 / 2200 / 2350 mm Bezeichnung Modell 5832 Modell 5842 Stromversorgung 24 VDC 24 VDC Entladezeit < 2s < 2s Balance < ±1V (NOVX) < ±3V (Stand Alone) < ±1V (NOVX) < ±3V (Stand Alone) Reinraumklasse ISO 14644 Klasse 4 ISO 14644 Klasse 4 Emitter Titan Titan Einstellungen Lüftergeschwindigkeit, Balance, Sensortypauswahl, FMS Relais Lüftergeschwindigkeit, Balance, FMS Relais Abmessungen (H x B x L) 18,5 x 13 x 7,0 cm 6,99 x13,8 x 81,3 / 106,7 / 132,1 cm Bezeichnung Modell 3352 Modell 3362 Stromversorgung 24 VDC, 30 W 24 VDC, 30W Aktiv/Passiv Passiv Aktiv (CPM-Funktion) Messbereich 0 bis ±500V 0 bis ±150V Genauigkeit < 20V: 0,5V > 20V: ±5% < 20V: 1V > 20V: ±5% Min. Alarmschwelle ±0,5V ±1V AUX Ausgangstyp Open Collector Open Collector Größe (B x T x H) 5,1 x 17,3 x 16,5 cm 5,1 x 17,3 x 16,5 cm Bezeichnung Modell 775PVS Modell 3362 Messbereich [kV/inch] 0,00 – 19,99 0 – 1,5 (unterer Bereich) 1 – 30 (oberer Bereich) Genauigkeit ±5% ±10% Batterie 9V Block 9V Block Größe 10,7 x 6,1 x 2,3 cm 12,3 x 7,3 x 2,5 cm
PMT Partikel-Messtechnik GmbH Schafwäsche 8 · 71296 Heimsheim Tel. +49 70 33 53 74-0 Fax +49 70 33 53 74-22 E-Mail: info@pmt.eu www.pmt.eu PMT (GB) Ltd. Willow End Park · Malvern Worcestershire WR13 6NN, UK Tel. +44 1684 312950 Fax +44 1684 312969 E-Mail: info@pmtgb.com www.pmtgb.com PMT Benelux N.V./S.A. Haachtsesteenweg 378 bus 01 1910 Kampenhout, Belgium Tel. +32 16 65 92 92 Fax +32 16 65 22 05 E-Mail: info@pmtbenelux.com www.pmtbenelux.com PMT France Immeuble Le Castillan 1 rue de la Belette 91410 DOURDAN, France Tel. +33 1 64 55 13 00 Fax +33 1 64 55 13 01 E-Mail: contact@pmtfrance.fr www.pmtfrance.fr PMT Schweiz AG Gewerbestr. 9 8132 Egg ZH Tel: + 41 44-994 7005 Fax: +41 44-994 7007 E-Mail: welcome@pmt-ag.ch www.pmt-ag.ch
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