• Ionisation

    Ihr elektrostatisches Problem ist unsere Herausforderung!

Ionisation / ESD-Management

Ionisation / Elektrostatisches Management

Ionisation von Arbeitsplätzen

Statische Aufladungen an Arbeitsplätzen wie in der Montage, während der Inspektion,  in der Verpackung und bei Werkzeuggebrauch sind zu vermeiden. Wo dies nicht in ausreichendem Maß möglich ist, müssen die Oberflächen aktiv entladen werden.

Unsere breite Palette an Systemen umfasst Benchtop Ionisationsgebläse für den allgemeinen Einsatz sowie auch Ionisationsgebläse für kritische Arbeitsplätze und Umgebungen.

Ionisation von Prozesstools

Die Kontrolle von statischer Ladung im Arbeitsfeld,  unter Laminar-Flow Kabinen, und innerhalb von Prozessanlagen ist nicht nur in der Halbleiterindustrie eine essentielle Aufgabe zur Vermeidung von Kontamination und zum Schutz von Produkten, wie z.B. Wafern.

Die PMT bietet weitreichende und wirkungsvolle Lösungen für die unterschiedlichsten Anforderungen.

Ionisationsstäbe werden genutzt, um in Prozesstools eine möglichst schnelle Abklingrate (Abbau elektrostatischer Ladung) zu bewirken. Durch den Einsatz von Ionisationsstäben kann Schutz vor dem Aufbau elektrostatischer Ladungen auf größere Distanzen in turbulenten Umgebungen geboten werden. -> 5285, 5685, IONforce

Digitale Ionisationsstäbe oder auch "Digital Ionizing Bars" bieten dem Anwender die Möglichkeit der Einstellung und Anpassung aller kritischen Arbeitsparameter über digitale Kommunikation.

Einbaubare Ionizing Bars sind speziell entwickelt,  um dort maximale Performance  beim Abbau elektrostatischer Ladung zu ermöglichen, wo wenig Platz innerhalb der Anlage verfügbar ist. Durch aktive Druckluftunterstützung  arbeiten die eingebauten Ionisationsstäbe auch effektiv und unabhängig von den Airflow-Konditionen innerhalb der Prozesstools.

Ionisationsstäbe mit modulierter Impulstechnologie  – Modulated Pulse Ionizing Bars – sind speziell für den Einsatz in der Halbleiterindustrie und anderen hochreinen Herstellprozessen entwickelt. Kombiniert mit ultra-reinen Emitter-Spitzen eignen sich diese Systeme für die neuesten Halbleiter Prozesswerkzeuge.

Ionisation von Reinräumen

Decken-Ionisationssysteme für Reinräume sind speziell für diese Anwendung entwickelt. Die Decken-Emitter beseitigen gleichmäßig und in kürzester Zeit Elektrostatik im gesamten Reinraumbereich. Partikel-Kontamination auf Oberflächen werden so innerhalb von Sekunden eliminiert. Durch die optimierte Form wird weder ein laminarer Airflow gestört noch die Integrität eines ISO-Klasse-1-Reinraums beeinträchtigt.

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TUEV Zertifikat ISO 9001

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