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Ionisation / ESD-Management

Ionisation / Elektrostatisches Management

Ionisation von Arbeitsplätzen

Statische Aufladungen an Arbeitsplätzen wie in der Montage, während der Inspektion,  in der Verpackung und bei Werkzeuggebrauch gilt es zu vermeiden, wo dies nicht in ausreichendem Maß möglich ist müssen diese Arbeitsplätze und Oberflächen aktiv entladen werden.

DIE breite Palette an spezifisch entwickelten Systemen umfasst Benchtop Ionizing Blower für den allgemeinen Einsatz sowie auch Ionisations Blower für kritische Arbeitsplätze und Umgebungen.

Ionisation von Prozesstools

Die Kontrolle von Statischer Ladung in Minienvironments,  unter Laminar flow hoods, und innerhalb von Prozessanlagen ist nicht nur in der Halbleiterindustrie eine essentielle Aufgabe zur Vermeidung von Kontamination und zum Schutz von Produkt, wie z.B. Wafer.

Die PMT bietet hier weitreichende, höchst effiziente  Lösungen für die verschiedensten spezifischen Anforderungen.

 Ionisations Stäbe werden genutzt um in benannten Prozesstools eine möglichst schnelle Abklingrate (möglichst schneller Abbau elektrostatischer Ladung) zu bewirken. Durch den Einsatz von Ionisations Stäben kann Schutz vor dem Aufbau elektrostatischer Ladungen auf größere Distanzen in turbulenten Umgebungen geboten werden. -> 5285, 5685, IONforce

Digitale Ionisations Stäbe oder auch Digital Ionizing Bars bieten dem Anwender die Möglichkeit der Einstellung und Anpassung aller kritischen Operations Parameter über digitale Kommunikation.

In-tool Ionizing Bars sind speziell entwickelt um dort maximale Performance  beim Abbau elektrostatischer Ladung zu ermöglichen wo wenig Platz im Umfeld des Prozess Equipments verfügbar ist. Durch aktive Druckluftunterstützung  arbeiten die In-tool  Ionisations Stäbe auch effektiv und unabhängig von den Airflow Konditionen innerhalb der Prozesstools.

Ionisations Stäbe mit Modulierter Impulstechnologie  – Modulated Pulse Ionizing Bars – sind speziell für den Einsatz, und die Kontrolle elektrostatischer Ladungen, in der Halbleiterindustrie und anderen hochreinen Herstellprozessen entwickelt. Dort wo extrem schnelle Entladezeiten  benötigt werden und eine äußerst präzise Balance erforderlich ist kommen diese Ionisatoren zum Einsatz. Kombiniert mit ultra-reinen Emitter Spitzen eignen sich diese Systeme für die neuesten Halbleiter Prozesstolls.

Ionisation von Reinräumen

Decken Ionisationssysteme für Reinräume sind speziell für die Anwendung in Reinräumen entwickelt. Die Decken Emitter beseitigen gleichmäßig, innerhalb kürzester Zeit Elektrostatik im gesamten Reinraum Bereich. Partikel Kontamination auf Oberflächen in Reinräumen werden so innerhalb von Sekunden eliminiert. Durch das spezielle Design wird weder ein Laminar Airflow gestört noch die Integrität eines ISO Klasse 1 Reinraums beeinträchtigt.

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